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超高剛性×サブナノ分解能、耐湿性により長寿命
PICMA(R)多層ピエゾアクチュエータ P-882・P-888は、セラミック絶縁構造により湿度や電解腐食に強く、温度安定性に優れています。 カスタムにより、最大200度までの耐高温度性を持たせたり、最大20 Aの大電流対応や、穴あき、円形、長方形など形状変更にも対応。 さらにUHV 10⁻⁹ hPa対応し、アウトガスがなく、高いベーク温度にも耐えられ、真空装置や極低温環境など過酷環境下でも動作。 多彩なサイズ・形状バリエーションに加え、カスタム仕様やセンサ内蔵型も選択可能です。 ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
15–38 µmストローク、0.1 nm分解能、小型高速応答ピエゾステージ
P-753 は、15〜38 µmの移動量を0.1 nm分解能で制御する1軸ピエゾナノポジショニングステージです。 実可動部を実測する、2電極型静電容量センサーとフレクシャガイドによる摩擦ゼロ構造により、ナノメートル動作と、数 msecでの位置決めを実現します。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
最大速度12 mm/s、50 Nの駆動力、ナノ位置決め動作の組込みアクチュエータ
N-331 PICMAWalkは、ピエゾ素子のナノ分解能とステッピング動作を融合したウォーキングドライブ・リニアアクチュエータです。 動作量は、25mm、50mm、100mmタイプがあり、駆動力50N、保持力60Nをもちます。 PiezoWalk(R)ウォーキングドライブは、複数のピエゾアクチュエータが歩行運動を行い、ランナーの送り動作につながります。 アクチュエータの制御により、1ナノメートル未満の分解能で最小のステップおよびフォワードフィードモーションが可能になります。 インクリメンタルリニアエンコーダによる高精度な位置測定を行います。また、10⁻9 hPa真空対応アクチュエータも対応します。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
スタティックとダイナミックのアプリケーションの為の高分解能。プリロード付きピエゾアクチュエータ（HVPZT）センサーオプション付
P-216は、1000V駆動の高電圧型ピエゾアクチュエータで、オプションで真空対応も可能です。 ストロークは、15µm～最大180µmタイプで、4500NのPush力と500NのPull力を持ち、内部に歪みゲージセンサー内蔵し、クローズドループ制御にでナノレベル位置決めを可能にします。 用途例 ・アクティブ振動吸収 ・アダプティブメカニクス ・光学・計測技術・干渉計 ・スイッチ ・レーザーチューニングなど ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
プリロード付き高負荷ピエゾアクチュエータ（HVPZT）センサーオプション付き
P-235は、1000V駆動の高電圧型ピエゾアクチュエータで、オプションで真空対応、防水対応も可能です。 ストロークは、15µm～最大180µmタイプで、30,000NのPush力と3,500NのPull力を持ち、内部に歪みゲージセンサー内蔵し、クローズドループ制御にでナノレベル位置決めを可能にします。 用途例は、アクティブ振動吸収、アダプティブメカニクス、光学・計測技術・干渉計、スイッチ、レーザーチューニングなど ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
高負荷ピエゾスタックアクチュエータ、開口部あり。センター開口部の利点と、スタックアクチュエータの強度および発生力を兼ね備え
PICA(TM) Thruアクチュエータは、ピエゾ空洞積層型アクチュエータです。 センター開口部の利点と、スタックアクチュエータの強度および発生力を兼ね備えています。 【特徴】 ○透過光アプリケーションまたは機械的与圧に適したセンター開口部 ○10-9サイクルを超えても高信頼性を維持 ○最大断面直径：56mm ○多様な形状を用意 ○サブミリセカンドの応答性、サブナノメートルの分解能 ○真空および非磁性対応バージョンを用意 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
長距離ナノポジショニング用のPiezoWalk(R)ドライブ。ストローク～5mm、 高分解能、および発生力～40Nでコンパクト
N-111は、PI独自のNEXLINEウォーキング技術を採用した組込み向けナノ位置決めアクチュエータです。 ・動作量：10 mm ・推力：50 N ・保持力：70 N（パッシブ無通電ロック） ・システム分解能：5nm インクリメンタルリニアスケール ・オープンループ分解能：0.025nm ・速度：最大 1 mm/s（モードによる） ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
研究、光学アライメントなどの使用に！高分解能でハイパワーなリニアアクチュエータ
『L-239型』は、真空対応でカスタマイズ可能な高耐荷重リニアアクチュエータです。 センサー内蔵で、センサー分解能、設計分解能などの機能を搭載。 研究をはじめ、光学アライメント、オートメーションでの使用に適しています。 【特長】 ■高フィードフォース：300N ■トラベルレンジ：52mm ■速度～50mm/s ■真空対応（10-9hPa）カスタマイズ可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
慣性駆動＋インクリメンタルセンサで長期安定の微調整制御
N-472シリーズは、Piezoelectric Inertia Drive方式を採用した高信頼性のClosedloopアクチュエータです。 高精度な位置決め制御が可能で、インクリメンタルエンコーダにより位置フィードバックが取得可能。 最大22Nの駆動力、保持力100N以上を確保しながら、動作時以外は電流を必要とせず、熱の発生も最小限に抑えます。 M10×1ねじ・9.5mmクランプシャンクによる簡単な取付が可能で、装置組込みにも適しています。
