15–38 µmストローク、0.1 nm分解能、小型高速応答ピエゾステージ
P-753 は、15〜38 µmの移動量を0.1 nm分解能で制御する1軸ピエゾナノポジショニングステージです。 実可動部を実測する、2電極型静電容量センサーとフレクシャガイドによる摩擦ゼロ構造により、ナノメートル動作と、数 msecでの位置決めを実現します。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
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基本情報
・汎用性の高い設計：フレクシャステージまたはアクチュエータ ・分解能0.05nm、高速応答 ・静電容量センサーによる高リニアリティ ・摩擦のない精密フレクシャガイドにより、直進性の極めて高い動きを実現 ・PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ・真空対応および非磁性バージョンを用意 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
価格情報
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納期
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用途／実績例
応用例 ・ディスクドライブ検査 ・各種計測 ・ナノポジショニング ・走査型顕微鏡 ・フォトニクス／光集積回路 ・干渉計 ・バイオテクノロジー ・マイクロマニピュレーション
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企業情報
ドイツ本社は50年以上、日本法人として30年の精密位置決め製品のPI社が新たなソリューションをご提案 世界シェアNo.1のピエゾステージ＆アクチュエータやヘキサポッド位置決め製品をご提供。 さらに、リニアモータ駆動製品と高精度エアベアリングステージのラインアップを充実させています。 位置決めにおいて、土台にも注意が必要で、弊社ではグラナイト定盤もご提供し、複合システムもご提案可能です。 世界中の生産現場や先端機器、様々な分野の最先端研究に 最新技術を提供している多彩なラインナップを是非ご覧下さい。