最小0.1 nm分解能、最大38 µmストロークのコンパクト・ピエゾステージ
光学系の調整では、光軸や光学素子の位置を微小量で安定して制御できることが求められます。P-753 LISAは、15～38 µmのストローク（モデルによる）と最小0.1 nmの分解能（適切なコントローラ使用時）を備えたリニア・ピエゾステージです。フレクシャガイド構造により、摩擦やバックラッシュのない滑らかな動作を実現します。顕微鏡、レーザー光学系、干渉計などにおける微小位置補正やアライメント用途に適しています。 【活用シーン】 ・光学顕微鏡の対物レンズ位置調整 ・レーザービームの微調整 ・光ファイバーアライメント ・分光器のスリット位置調整 ・干渉計のミラー位置補正 【導入の効果】 ・ナノメートルレベルの位置決め分解能 ・バックラッシュのない高再現性動作 ・コンパクト設計による装置組込み適性 ・微小位置補正の安定化
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基本情報
【特長】 ・汎用性の高い設計：フレクシャステージまたはアクチュエータ ・分解能0.05nm、高速応答 ・静電容量センサーによる高リニアリティ ・摩擦のない精密フレクシャガイドにより、直進性の極めて高い動きを実現 ・PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ・真空対応および非磁性バージョンを用意 【当社の強み】 ドイツ本社50年以上の実績、ピエゾステージ＆アクチュエータをはじめヘキサポッドやピエゾなどの位置決め製品を提供しています。お客様の用途に最適なソリューションを提案し、精密位置決めに関するあらゆるニーズに対応します。
価格情報
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納期
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用途／実績例
応用例 ・ディスクドライブ検査 ・各種計測 ・ナノポジショニング ・走査型顕微鏡 ・フォトニクス／光集積回路 ・干渉計 ・バイオテクノロジー ・マイクロマニピュレーション
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企業情報
ドイツ本社は50年以上、日本法人として30年の精密位置決め製品のPI社が新たなソリューションをご提案 世界シェアNo.1のピエゾステージ＆アクチュエータやヘキサポッドなどの位置決め製品をご提供。 さらに、リニアモータ駆動製品と高精度エアベアリングステージのラインアップを充実させています。 位置決めにおいて、土台にも注意が必要で、弊社ではグラナイト定盤もご提供し、複合システムもご提案可能です。 世界中の生産現場や先端機器、様々な分野の最先端研究に総合的なソリューションを提供しています。是非ご覧下さい。
