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ガス流体を高精度コントロール！ガス種を選ばず、装置ユニットの自由度が高まる！
『超小型 FCS-P』は、小型かつ軽量で、流量精度が既存モデルより向上した フローコントロールシステムです。 取り付け姿勢の影響を受けず、流量自己診断機能を搭載。 フローファクター（流量変換係数）の採用により、N2校正のFCSで様々な ガス種に対応します。 【特長】 ■小型かつ軽量 ■流量精度が既存モデルより向上 ■供給圧力の変動に対して、制御流量は影響を受けない ■応答時間が0.5秒以下 ■取り付け姿勢の影響を受けない ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
超高純度用、圧力制御方式を採用した、 流量制御機器です。
圧力を制御することにより、従来のマスフローコントローラーでは実現できない 高精度な流量制御を可能にした、フローコントロールシステム 【特徴】 ○シンプルでデットスペースレスな構造 ○優れた圧力変動特性 上流の圧力が変動しても出力値が変動しないため 上流側に取り付ける事が可能。またレギュレータをガスシステムから省く事ができ ガスシステムのコストダウンと小型化を同時に達成 ○フローファクターの採用 様々なガス種に対応可能 ○優れた精度 ○流量自己診断機能の搭載 ○すばやい応答性 ○マウントポジションフリー ○デバイスネット通信にも対応 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
熱式流量センサ制御方式を採用した、流量制御機器です。
更なるトータルコストダウンとリードタイムの短縮を実現した デジタルインターフェース搭載、マスフローコントローラー 【特徴】 ○高精度 流量精度±1％を実現 ○高性能センサ 低温度流量センサの採用で、反応性の高いガス及び 安定性の低いガスに最適構造を実現 ○高信頼性ダイヤフラムバルブで少ない接ガス面積・パーティクル発生の防止 高速応答ピエゾアクチュエータを採用 デットスペースフリー構造によるガス置換特性の大幅向上 パーティクル発生 極少 ○デジタルインターフェース標準装備 RS485 ○RoHS対応 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
