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圧力制御を自動化し、圧力/背圧レギュレータとして使用できます！
オートプレッシャーコントローラ『SLA/SLAMfシリーズ』は、豊富なオプションと機能を備えています。 SLA/SLAMfシリーズ マスフローコントローラおよびメータと組み合わせることで、シングルプラットフォームの利点である、制御（プロセス）に一貫性を持たせることができます。 SLA/SLAMfシリーズは、国際標準にトレーサブルな一次流量校正システムを使用しており、当社の優れた計測システムおよび手法に基づき、高精度、ゼロ点の長期安定性、優れた再現性を特徴としています。
最高の性能を最大限に引き出す！先駆的な半導体プロセスのための最新型圧力ベースマスフロー
GP200シリーズは、従来の圧力センサーに代えて差圧センサーを採用し、 コントロールバルブをセンサーの下流に配置することで、 従来の圧力ベースMFCに比べて格段に流量計測の精度と 再現性が向上しています。 【特徴】 ■測定誤差の低減 ■すべてのプロセス条件に好適 ■高精度な流量制御 ■バルブリークを1/100に低減 ※詳しくはお問合せください。
薄膜、コーティング、表面処理は、幅広い産業とアプリケーションをカバーしています！
産業用や民生用の製品の表面には、その仕上がりを最適化させるためにコーティングを施すことがあります。例えば、切削工具の耐摩耗性、ガラスの耐傷性、板ガラスの熱特性、住宅設備機器の美観などを向上させることが可能です。 化学蒸着、物理蒸着、プラズマ処理プロセス、溶射など、コーテイングの手法はさまざまですが、製造工程の最終段階として行われることが多いようです。 ブルックスインスツルメントのマスフロー、真空、圧力測定および制御装置は、PVDおよびCVDプロセスアプリケーションをカバーしています。また、当社の製品は、熱処理やプラズマ処理プロセスなどの表面処理アプリケーションにも適しています。 【特長】 ■再現性の高い、高精度なガス供給 ■優れた品質、正確な厚み、膜厚の均一性 ■長期にわたる安定したプロセス制御 ■高機能な現場での流量診断とトレンド解析で、プロセスの歩留まりを最大化 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
