イプロス ものづくり
  • 分類カテゴリから製品を探す

    • 電子部品・モジュール
      電子部品・モジュール
      55799件
    • 機械部品
      機械部品
      70401件
    • 製造・加工機械
      製造・加工機械
      95416件
    • 科学・理化学機器
      科学・理化学機器
      32846件
    • 素材・材料
      素材・材料
      34737件
    • 測定・分析
      測定・分析
      52653件
    • 画像処理
      画像処理
      14466件
    • 制御・電機機器
      制御・電機機器
      50330件
    • 工具・消耗品・備品
      工具・消耗品・備品
      62849件
    • 設計・生産支援
      設計・生産支援
      11665件
    • IT・ネットワーク
      IT・ネットワーク
      40928件
    • オフィス
      オフィス
      13028件
    • 業務支援サービス
      業務支援サービス
      39737件
    • セミナー・スキルアップ
      セミナー・スキルアップ
      5798件
    • 医薬・食品関連
      医薬・食品関連
      22284件
    • その他
      59080件
  • 業種から企業を探す

    • 製造・加工受託
      7363
    • その他
      5060
    • 産業用機械
      4443
    • 機械要素・部品
      3286
    • その他製造
      2874
    • IT・情報通信
      2521
    • 商社・卸売り
      2457
    • 産業用電気機器
      2326
    • 建材・資材・什器
      1823
    • ソフトウェア
      1651
    • 電子部品・半導体
      1572
    • 樹脂・プラスチック
      1493
    • サービス業
      1399
    • 試験・分析・測定
      1131
    • 鉄/非鉄金属
      978
    • 環境
      702
    • 化学
      632
    • 自動車・輸送機器
      556
    • 印刷業
      506
    • 情報通信業
      429
    • 民生用電気機器
      424
    • エネルギー
      321
    • ゴム製品
      309
    • 食品機械
      304
    • 光学機器
      284
    • ロボット
      269
    • 繊維
      252
    • 紙・パルプ
      233
    • 電気・ガス・水道業
      172
    • 医薬品・バイオ
      166
    • 倉庫・運輸関連業
      144
    • ガラス・土石製品
      142
    • 飲食料品
      131
    • CAD/CAM
      121
    • 教育・研究機関
      108
    • 小売
      104
    • 医療機器
      100
    • セラミックス
      94
    • 木材
      87
    • 運輸業
      83
    • 医療・福祉
      61
    • 石油・石炭製品
      60
    • 造船・重機
      53
    • 航空・宇宙
      47
    • 水産・農林業
      38
    • 自営業
      23
    • 設備
      18
    • 鉱業
      17
    • 公益・特殊・独立行政法人
      15
    • 研究・開発用機器・装置
      14
    • 金融・証券・保険業
      13
    • 素材・材料
      13
    • 官公庁
      10
    • 個人
      9
    • 飲食店・宿泊業
      8
    • 警察・消防・自衛隊
      7
    • 化粧品
      7
    • 受託研究
      3
    • 試薬・薬品原料
      2
    • 実験器具・消耗品
      1
  • 特集
  • ランキング

    • 製品総合ランキング
    • 企業総合ランキング
製品を探す
  • 分類カテゴリから製品を探す

  • 電子部品・モジュール
  • 機械部品
  • 製造・加工機械
  • 科学・理化学機器
  • 素材・材料
  • 測定・分析
  • 画像処理
  • 制御・電機機器
  • 工具・消耗品・備品
  • 設計・生産支援
  • IT・ネットワーク
  • オフィス
  • 業務支援サービス
  • セミナー・スキルアップ
  • 医薬・食品関連
  • その他
企業を探す
  • 業種から企業を探す

  • 製造・加工受託
  • その他
  • 産業用機械
  • 機械要素・部品
  • その他製造
  • IT・情報通信
  • 商社・卸売り
  • 産業用電気機器
  • 建材・資材・什器
  • ソフトウェア
  • 電子部品・半導体
  • 樹脂・プラスチック
  • サービス業
  • 試験・分析・測定
  • 鉄/非鉄金属
  • 環境
  • 化学
  • 自動車・輸送機器
  • 印刷業
  • 情報通信業
  • 民生用電気機器
  • エネルギー
  • ゴム製品
  • 食品機械
  • 光学機器
  • ロボット
  • 繊維
  • 紙・パルプ
  • 電気・ガス・水道業
  • 医薬品・バイオ
  • 倉庫・運輸関連業
  • ガラス・土石製品
  • 飲食料品
  • CAD/CAM
  • 教育・研究機関
  • 小売
  • 医療機器
  • セラミックス
  • 木材
  • 運輸業
  • 医療・福祉
  • 石油・石炭製品
  • 造船・重機
  • 航空・宇宙
  • 水産・農林業
  • 自営業
  • 設備
  • 鉱業
  • 公益・特殊・独立行政法人
  • 研究・開発用機器・装置
  • 金融・証券・保険業
  • 素材・材料
  • 官公庁
  • 個人
  • 飲食店・宿泊業
  • 警察・消防・自衛隊
  • 化粧品
  • 受託研究
  • 試薬・薬品原料
  • 実験器具・消耗品
特集
ランキング
  • 製品総合ランキング
  • 企業総合ランキング
  • プライバシーポリシー
  • 利用規約
  • 会社情報
  • 採用情報
  • 広告掲載
  1. ホーム
  2. 製品を探す
  3. 測定・分析
  4. その他計測器
  5. その他計測・記録・測定器
  6. 圧力ベースマスフローコントローラ『GP200シリーズ』

圧力ベースマスフローコントローラ『GP200シリーズ』

  • ブックマークに追加いたしました

    ブックマーク一覧

    ブックマークを削除いたしました

    ブックマーク一覧

    これ以上ブックマークできません

    会員登録すると、ブックマークできる件数が増えて、ラベルをつけて整理することもできます

    無料会員登録

最終更新日:2025年02月12日

ITWジャパン株式会社
ITWジャパン株式会社
  • 特設サイト
  • 公式サイト

最高の性能を最大限に引き出す!先駆的な半導体プロセスのための最新型圧力ベースマスフロー

GP200シリーズは、従来の圧力センサーに代えて差圧センサーを採用し、 コントロールバルブをセンサーの下流に配置することで、 従来の圧力ベースMFCに比べて格段に流量計測の精度と 再現性が向上しています。 【特徴】 ■測定誤差の低減 ■すべてのプロセス条件に好適 ■高精度な流量制御 ■バルブリークを1/100に低減 ※詳しくはお問合せください。

    その他計測・記録・測定器
vvvvvv.png

圧力ベースマスフローコントローラ『GP200シリーズ』

vvvvvv.png
vvvvvv.png
  • 関連リンク - https://www.brooksinstrument.com/ja-jp/products/ma…
  • 特設サイト - 製品・サービス詳細 - https://pr.mono.ipros.com/itwjyapan/product/

この製品へのお問い合わせ

  • Webからお問い合わせ
  • カタログをダウンロード

基本情報

※詳しくはお問合せください。

価格帯

詳細はお問い合わせください

納期

詳細はお問い合わせください

用途/実績例

※詳しくはお問合せください。

カタログ(3)

カタログをまとめてダウンロード
圧力ベース ガス マスフローコントローラ『GP200シリーズ』

圧力ベース ガス マスフローコントローラ『GP200シリーズ』

製品カタログ
  • 電子ブック閲覧
  • カタログダウンロード

このカタログにお問い合わせ

【総合カタログ】プロダクトガイド『flow-pressure-vapor-guide』

【総合カタログ】プロダクトガイド『flow-pressure-vapor-guide』

総合カタログ
  • 電子ブック閲覧
  • カタログダウンロード

このカタログにお問い合わせ

サービス&サポート

サービス&サポート

製品カタログ
  • 電子ブック閲覧
  • カタログダウンロード

このカタログにお問い合わせ

この製品に関するニュース(4)

ブルックス エキスパートサポートツール(BEST)

  • 製品ニュース

ブルックスエクスパートサポートツール『BEST(Brooks Enhanced Support Tool)』は、SLA58XXおよびSLAMfXXシリーズ専用の、高機能マスフローコントローラ、メータ、圧力コントローラを制御するWindowsベースのアプリケーションソフトウェアです。このツールを使用することにより、セットアップ、設定、診断、トラブルシューティング、バルブ調整、キャリブレーション(別途ライセンスキーが必要)を含む機能を利用することができます。 デバイスの上部にある診断ポートとお使いのコンピュータを、専用ケーブルで接続してアクセスします。仕様、ライセンスの要件、操作方法については、お問い合わせください。 対応する製品は下記ページをご確認ください。 https://www.brooksinstrument.com/ja-jp/products/accessories-software/product-software/brooks-expert-support-tool ■現在公開中のバージョン V5.14.1.0 V5.12.0.0 V5.10.0.0

ブックマークに追加いたしました

ブックマーク一覧

ブックマークを削除いたしました

ブックマーク一覧

これ以上ブックマークできません

会員登録すると、ブックマークできる件数が増えて、ラベルをつけて整理することもできます

無料会員登録

【製品情報】圧力ベース・メタルシール・マスフローコントローラ『GP200シリーズ』

  • 製品ニュース

『最高の性能を最大限に引き出す』 半導体製造における高度なエッチングやデポジションのプロセスに特化して設計された、業界初の完全圧力不感応タイプの圧力ベースのマスフローコントローラ(P-MFC)です。 GP200シリーズP-MFCは、従来のP-MFCの限界を克服し、低蒸気圧のプロセスガスでも高精度なプロセスガス供給を可能にする特許取得済みのアーキテクチャを採用しています。また、差圧センサーを内蔵し、下流側にバルブを配置するなど独自の設計を採用することで、業界で最も広い範囲の動作条件で高精度のプロセスガス供給を可能にしています。 幅広いプロセス条件に対応しているため、従来のP-MFCやサーマルMFCの代替品やアップグレード品として使用することができます。また、圧力調整器や変換器などの部品が不要になるため、ガス供給システムを簡易化し、コストを低減することができます。 【主な用途】 ■ 半導体製造 ■ エッチング ■ CVD ■ 高純度のオールメタル流路を必要とするガス流量制御アプリケーション

ブックマークに追加いたしました

ブックマーク一覧

ブックマークを削除いたしました

ブックマーク一覧

これ以上ブックマークできません

会員登録すると、ブックマークできる件数が増えて、ラベルをつけて整理することもできます

無料会員登録

【製品カタログ】『GP200シリーズ』圧力ベース ガス マスフローコントローラ(改訂版)

  • カタログニュース

GP200シリーズは、半導体用途専用に設計された、初めての完全圧力非感応型PMFCです。GP200の独自の差圧技術と最先端のセンサー・バルブ構成により、従来の圧力ベースのマスフローコントローラの限界を取り除き、業界で最も広範囲かつ正確なプロセスガスコントロールを可能にします。 Brooksは世界で初めてガス種と流量範囲の再設定が可能なMFCを開発し、リリース以降もガスモデルを刷新し続けており、同じ機能がGP200にも組み込まれています。多くのガス種と幅広い流量範囲への再設定を容易に行うことができ、幅広いプロセスに柔軟に対応します。 GP200の超高速で再現性の高いバルブコントロールと圧力変動耐性により、極端に供給圧力が変動した場合でも、チャンバーへの精密な流量制御を維持し、よりタイトなプロセス制御を可能にします。GP200プラットフォームは幅広いプロセス条件をサポートし、従来の圧力ベースのマスフローコントローラの多くを交換または、アップグレードすることが可能です。

ブックマークに追加いたしました

ブックマーク一覧

ブックマークを削除いたしました

ブックマーク一覧

これ以上ブックマークできません

会員登録すると、ブックマークできる件数が増えて、ラベルをつけて整理することもできます

無料会員登録
GP200シリーズ「圧力ベースマスフローコントローラ」

【新製品】最高の性能を 最大限に引き出す「GP200シリーズ」のご紹介

  • 製品ニュース

最先端半導体プロセスのための最新型圧力ベースマスフロー GP200シリーズは、従来の圧力センサーに代えて差圧センサーを採用し、コントロールバルブをセンサーの下流に配置することで、従来の圧力ベースMFCに比べて格段に流量計測の精度と再現性が向上しています。 * 1センサーで差圧を測定する事により. 流量精度再現性が飛躍的に向上します。 * 幅広い圧力、ガス種、プロセスに対応します。 * 最先端のバルブアーキテクチャーにより、 より正確で再現性の高い流量制御と応答性を実現します。 * ゼロリークバルブにより、「ファーストウェハ効果」を排除します。

ブックマークに追加いたしました

ブックマーク一覧

ブックマークを削除いたしました

ブックマーク一覧

これ以上ブックマークできません

会員登録すると、ブックマークできる件数が増えて、ラベルをつけて整理することもできます

無料会員登録

企業ニュース一覧 (70)

企業情報

ITWジャパン株式会社

ITWジャパン株式会社

機械要素・部品

ブックマークに追加いたしました

ブックマーク一覧

ブックマークを削除いたしました

ブックマーク一覧

これ以上ブックマークできません

会員登録すると、ブックマークできる件数が増えて、ラベルをつけて整理することもできます

無料会員登録
  • 特設サイト
  • 公式サイト
電話番号・住所

当社は、重工業、石油・ガス精製、化学や石油化学の研究、薬品薬剤や生物医薬品の生産、また、太陽電池、LED、薄膜、光ファイバー、半導体の製造装置など、さまざまな分野でご利用いただく製品をご提供しております。 プロセスの制御、正確な測定を行える環境設定に貢献することで、お客様側のプロセスの精度が高まり、常にお客様が競争力を発揮できるよう寄り添い切磋琢磨しながら、ビジネスの発展と成長を遂げてまいりました。 ご要望の際は、お気軽にご相談ください。

製品・サービス一覧 (25)

その他計測・記録・測定器の関連カテゴリ

  • 測定・分析
  • その他計測器
  • その他計測・記録・測定器

この製品へのお問い合わせ

  • Webからお問い合わせ
  • カタログをダウンロード

製品

  • 製品を探す

企業

  • 企業を探す

特集

  • 特集

ランキング

  • 製品総合ランキング
  • 企業総合ランキング

サポート

  • サイトマップ
IPROS
  • プライバシーポリシー 情報の外部送信について
  • 利用規約
  • 会社情報
  • 採用情報
  • 広告掲載
COPYRIGHT © 2001-2025 IPROS CORPORATION ALL RIGHTS RESERVED.