圧力ベースマスフローコントローラ『GP200シリーズ』

『最高の性能を最大限に引き出す』 半導体製造における高度なエッチングやデポジションのプロセスに特化して設計された、業界初の完全圧力不感応タイプの圧力ベースのマスフローコントローラ（P-MFC）です。 GP200シリーズP-MFCは、従来のP-MFCの限界を克服し、低蒸気圧のプロセスガスでも高精度なプロセスガス供給を可能にする特許取得済みのアーキテクチャを採用しています。また、差圧センサーを内蔵し、下流側にバルブを配置するなど独自の設計を採用することで、業界で最も広い範囲の動作条件で高精度のプロセスガス供給を可能にしています。 幅広いプロセス条件に対応しているため、従来のP-MFCやサーマルMFCの代替品やアップグレード品として使用することができます。また、圧力調整器や変換器などの部品が不要になるため、ガス供給システムを簡易化し、コストを低減することができます。 【主な用途】 ■ 半導体製造 ■ エッチング ■ CVD ■ 高純度のオールメタル流路を必要とするガス流量制御アプリケーション

GP200シリーズの金属シール型・圧力ベースのマスフローメータ（P-MFC）動作原理を動画で解説しております。（英語） https://www.youtube.com/watch?v=ZWB03A_9fo8 動画チャプター 00:00　Brooks Instrumentとは 01:00　従来型圧力ベースMFCとは 02:10　GP200圧力ベースMFCの紹介 03:30　GP200 MFCの利点 03:50　GP200 MFCの圧力計測方法 04:45　GP200の優位性 この圧力ベースのマスフローメータは、従来型の圧力ベースMFCが抱える制約を克服し、プロセス性能を大きく向上させる独自の設計を採用しています。

エネルギー革新における精密制御の実現 水素、燃料電池、CCUS、バイオ燃料、CNT製造。未来のエネルギーを支える 現場には、正確な流れを見守る技術があります。 ブルックスインスツルメントの流量計が、エネルギートランジションを支えます。 https://mono.ipros.com/product/detail/2001538519/

ブルックスエクスパートサポートツール『BEST(Brooks Enhanced Support Tool)』は、SLA58XXおよびSLAMfXXシリーズ専用の、高機能マスフローコントローラ、メータ、圧力コントローラを制御するWindowsベースのアプリケーションソフトウェアです。このツールを使用することにより、セットアップ、設定、診断、トラブルシューティング、バルブ調整、キャリブレーション（別途ライセンスキーが必要）を含む機能を利用することができます。 デバイスの上部にある診断ポートとお使いのコンピュータを、専用ケーブルで接続してアクセスします。仕様、ライセンスの要件、操作方法については、お問い合わせください。 対応する製品は下記ページをご確認ください。 https://www.brooksinstrument.com/ja-jp/products/accessories-software/product-software/brooks-expert-support-tool ■現在公開中のバージョン V5.14.1.0 V5.12.0.0 V5.10.0.0