【動画】圧力ベース・メタルシール・マスフローコントローラ『GP200シリーズ』動作原理

GP200シリーズの金属シール型・圧力ベースのマスフローメータ(P-MFC)動作原理を動画で解説しております。(英語)
https://www.youtube.com/watch?v=ZWB03A_9fo8
動画チャプター
00:00 Brooks Instrumentとは
01:00 従来型圧力ベースMFCとは
02:10 GP200圧力ベースMFCの紹介
03:30 GP200 MFCの利点
03:50 GP200 MFCの圧力計測方法
04:45 GP200の優位性
この圧力ベースのマスフローメータは、従来型の圧力ベースMFCが抱える制約を克服し、プロセス性能を大きく向上させる独自の設計を採用しています。

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