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製品ニュース
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2025/08/21

【製品情報】圧力ベース・メタルシール・マスフローコントローラ『GP200シリーズ』

ITWジャパン株式会社 ITWジャパン株式会社
『最高の性能を最大限に引き出す』 半導体製造における高度なエッチングやデポジションのプロセスに特化して設計された、業界初の完全圧力不感応タイプの圧力ベースのマスフローコントローラ(P-MFC)です。 GP200シリーズP-MFCは、従来のP-MFCの限界を克服し、低蒸気圧のプロセスガスでも高精度なプロセスガス供給を可能にする特許取得済みのアーキテクチャを採用しています。また、差圧センサーを内蔵し、下流側にバルブを配置するなど独自の設計を採用することで、業界で最も広い範囲の動作条件で高精度のプロセスガス供給を可能にしています。 幅広いプロセス条件に対応しているため、従来のP-MFCやサーマルMFCの代替品やアップグレード品として使用することができます。また、圧力調整器や変換器などの部品が不要になるため、ガス供給システムを簡易化し、コストを低減することができます。 【主な用途】 ■ 半導体製造 ■ エッチング ■ CVD ■ 高純度のオールメタル流路を必要とするガス流量制御アプリケーション
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【公式サイト】GP200シリーズ 圧力ベース・メタルシール・マスフローコントローラ
【動画】Brooks Instrument Pressure-based Mass Flow Controllers - Theory of Operation

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圧力ベースマスフローコントローラ『GP200シリーズ』

最高の性能を最大限に引き出す!先駆的な半導体プロセスのための最新型圧力ベースマスフロー

GP200シリーズは、従来の圧力センサーに代えて差圧センサーを採用し、 コントロールバルブをセンサーの下流に配置することで、 従来の圧力ベースMFCに比べて格段に流量計測の精度と 再現性が向上しています。 【特徴】 ■測定誤差の低減 ■すべてのプロセス条件に好適 ■高精度な流量制御 ■バルブリークを1/100に低減 ※詳しくはお問合せください。

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サーマルマスフローコントローラ/メータ『SLA5800シリーズ』

高圧ガス保安協会(KHK)の認証取得。都道府県の完成検査の手続きを簡略化。国内防爆(JPEx)の型式検定合格証も取得

サーマルマスフローコントローラ/メータ『SLA5800シリーズ』は、 カーボンニュートラルの研究開発に役立つ、ガスの制御・測定機能を備え、 水素・メタン・LNG・二酸化炭素・アンモニアなどの気体に対応した製品です。 「SLA5850 マスフローコントローラ ノーマルクローズバルブ」は、 高圧ガス保安協会(KHK)の認証を取得しており、 都道府県での完成検査が認定証の提出のみで済むため、 非常にスムーズな導入が可能になります。(フローメータでの対応も可能) 【特長】 ■DEKRAより、国内防爆(JPEx)の型式検定合格証を取得済 (対応品:マスフローコントローラ/メータ、プレッシャーコントローラ) ■化学・石油化学・燃料電池・ライフサイエンスなどの分野でも活躍 ■広範囲をカバーする流量レンジ ■1台で複数のガス・流量レンジに対応可能 ※詳しくはカタログをご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

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流量、圧力、蒸気および真空製品「総合カタログ」※流量計等を掲載!

コリオリ式マスフローや当社初の圧力式マスフローコントローラなどもラインアップ

当資料は、ブルックスインストルメントの流量、圧力、蒸気および 真空製品を掲載した総合カタログです。 クローズドループ、ブースト、ヒステリシスを排除した「SLA Series」 などのプレッシャーコントローラをはじめ、複数のガス種と流量レンジを 1台でカバーできる「GF40 Series」などのサーマル式マスフローや、 面積式流量計、圧力/真空製品などをラインアップ。 大変参考になる一冊となっておりますので、導入検討の際に ぜひご覧ください。 【掲載内容】 ■マスフロー&プレッシャーコントローラ ■面積式流量計 ■圧力/真空製品 ■セカンダリエレクトロニクス&ソフトウェア ■通信プロトコル ■サービス&サポート ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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信頼できる製品、専門性の高いサービス!機器を“新品同様の状態”に再生します!

当社は、流量制御の深い知識、電気および機械工学の強力なバックグラウンド、 およびバイオテクノロジーの分野における制御システムの深い理解を持つ 経験豊富な技術サポートメンバーを擁しています。 数十年にわたる豊富な経験を有し、機器を“新品同様の状態”に再生。 機器校正サービスのエキスパートが、校正証明書を発行します。 お客様のサービスおよびインストールに関するご要望は、 お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■全ての修理には工場認定の新しい部品を使用 ■全ての修理サービスに対して保証期間がある ■機器校正サービスのエキスパートが、校正証明書を発行 ■グローバルなサービス拠点 ■デジタルプロトコルによるハードウェアのアップグレードが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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圧力ベース ガス マスフローコントローラ『GP200シリーズ』

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【総合カタログ】プロダクトガイド『flow-pressure-vapor-guide』

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Wi-Fi セキュリティの常時監視を強化 「WiSAS NORA」に 24 時間 365 日対応オプションを追加

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株式会社スプライン・ネットワーク(本社:東京都渋谷区、代表取締役社長:雪野 洋一)は、同社が企画・ 販売するクラウド型フルマネージド Wi-Fi Security ソリューション: WiSAS)の常時監視サービス: WiSAS NORA に、2026 年 1 月 20 日から 24H365D オプション機能が追加されることを発表します。

2026年01月17日

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ドコモ FOMA(3G)サービス終了に伴うネクス製品への影響について

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ドコモFOMA(3G) が2026年3月で終了を予定されていることに伴い、弊社製品への影響および対応方法についてお知らせいたします。 詳細は添付のPDFファイルをご参照ください。

2026年01月17日

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雑誌会 シルセスキオキサンを改めて『知る』

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シルセスキオキサンの処理温度と分子構造と誘電率などの物性の関係についてのお話です。 合成した新規シルセスキオキサンは処理温度が100℃⇒200℃⇒300℃と高くなるにつれ、誘電率も誘電正接も小さくなったようです。 詳しくは、下記関係リンクへ https://banyohkagaku.co.jp/infodetail?wgd=news-162&wgdo=date-DESC,sort-ASC

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雑誌会 出土品を保護するはずのコーティング剤が錆の原因に!

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考古学で金属製の出土品を樹脂製のコーティング剤で保護することが広く行われているようですが、何とそのコーティング剤が分解すれば、酸化作用をもたらし、出土品を腐食するというお話です。 詳しくは下記リンクへ https://banyohkagaku.co.jp/infodetail?wgd=news-165&wgdo=date-DESC,sort-ASC

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株式会社フクダがご提案するリークテスト・漏れ試験・漏れ検査・漏れ検出・包装完全性試験

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株式会社フクダは漏れ検出を追求して60年、漏れ検査(リークテスト)の未来型を追求します。 【 各種漏れ試験に対応:エアリークテスト / ガスリークテスト(水素ガス ・ ヘリウムガス) 】 気密性・密封性を検査するための漏れ試験機器を開発・製造・販売しています 検査対象ごとに適切なテスター・装置をご提案いたします 【 対象業界と検査対象例 】 ・自動車業界:エンジン、FC部品、バルブ・配管、各種部品 ・電子部品業界:スマートフォン、キーレススイッチ、各種小型センサ ・医薬品 / 食品 / 化粧品業界:ボトル容器、シリンジ、バイアル、点眼剤容器、ピロー包装、PTP包装 業界別に最適なリークテスターをご提案いたします 【 ISO認証 】JIS Q 9001:2015(ISO 9001:2015)

2026年01月16日

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