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サーマルマスフローコントローラ/メータ『SLA5800シリーズ』

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モデル SLA5850 / SLA5851 / SLA5853 / SLA5860 / SLA5861 / SLA5863

最終更新日:2025年02月12日

ITWジャパン株式会社
ITWジャパン株式会社
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高圧ガス保安協会(KHK)の認証取得。都道府県の完成検査の手続きを簡略化。国内防爆(JPEx)の型式検定合格証も取得

サーマルマスフローコントローラ/メータ『SLA5800シリーズ』は、 カーボンニュートラルの研究開発に役立つ、ガスの制御・測定機能を備え、 水素・メタン・LNG・二酸化炭素・アンモニアなどの気体に対応した製品です。 「SLA5850 マスフローコントローラ ノーマルクローズバルブ」は、 高圧ガス保安協会(KHK)の認証を取得しており、 都道府県での完成検査が認定証の提出のみで済むため、 非常にスムーズな導入が可能になります。(フローメータでの対応も可能) 【特長】 ■DEKRAより、国内防爆(JPEx)の型式検定合格証を取得済 (対応品:マスフローコントローラ/メータ、プレッシャーコントローラ) ■化学・石油化学・燃料電池・ライフサイエンスなどの分野でも活躍 ■広範囲をカバーする流量レンジ ■1台で複数のガス・流量レンジに対応可能 ※詳しくはカタログをご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

    流量計流量制御安全コントローラ
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サーマルマスフローコントローラ/メータ『SLA5800シリーズ』

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  • 特設サイト - 製品・サービス詳細 - https://pr.mono.ipros.com/itwjyapan/product/

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基本情報

<KHK認証取得品のメリット> 高圧ガス設備は都道府県知事(または市町村長)への許可申請・検査申請・届出等の行政手続きが必要です。 この行政手続きには必要書類の準備と設備試験などの煩雑な手続きが必要ですが、 KHKが発行した高圧ガス設備試験成績証明書を提出するだけで行政手続きが完了します。

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※詳しくはカタログをご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

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サーマル マスフローコントローラ / マスフローメータ『SLA5800シリーズ』

サーマル マスフローコントローラ / マスフローメータ『SLA5800シリーズ』

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【取扱説明書】サーマルマスフロー『SLA5800シリーズ』

【取扱説明書】サーマルマスフロー『SLA5800シリーズ』

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【合格証】防爆構造電気機械器具型式検定(国内防爆: DEK20.0062X)

【合格証】防爆構造電気機械器具型式検定(国内防爆: DEK20.0062X)

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マスフローコントローラ / マスフローメータ『【NEMA4X/IP66規格】SLAMfシリーズ』

マスフローコントローラ / マスフローメータ『【NEMA4X/IP66規格】SLAMfシリーズ』

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プレッシャーコントローラ『SLA/SLAMfシリーズ』

プレッシャーコントローラ『SLA/SLAMfシリーズ』

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【バイオテクノロジーeBook】バイオ医薬品プロセスシステムにおけるMFCの性能に影響を与える要因

【バイオテクノロジーeBook】バイオ医薬品プロセスシステムにおけるMFCの性能に影響を与える要因

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デジタルマスフローコントローラとイーサネットベースのネットワークプロトコル

デジタルマスフローコントローラとイーサネットベースのネットワークプロトコル

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【総合カタログ】プロダクトガイド『flow-pressure-vapor-guide』

【総合カタログ】プロダクトガイド『flow-pressure-vapor-guide』

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この製品に関するニュース(15)

【パネル資料】スケールアップとオートメーション化に貢献

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■ ワイドな流量範囲/圧力条件とデジタルI/Oに対応 ■ 証明書と認証 ■ アプリケーション こちらよりご覧ください。 https://www.ipros.jp/catalog/detail/752600 関連カタログからもご覧いただけます。

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【アプリケーション情報】窒化チタンコーティングのための正確で安定したガスと液体の供給

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チタンは、対象となる製品に非常に硬い窒化チタン(TiN)コーティングを形成するために、こうした用途で頻繁に使用されます。チタンコーティングは、その金色の外観から、装飾目的で宝石、家庭用器具、自動車のトリムによく使用されています。同様のコーティングは、医療機器や器具の表面に無害なものとして使用されることもあります。この種のコーティングは現在、生体内バイオセンサーを含む高度なバイオメディカルデバイスの用途にも応用されています。 窒化チタンのコーティングには、一般的にCVDプロセスが使用されています。このプロセスでは、複数の化学物質(TiC14、N2、H2)を炉に供給し、高温で反応させて窒化チタンを生成し、コーティングとして表面に堆積させます。コーティングの完全性、適切な厚み、均一性にとって重要なのは、これらの材料を炉に正確に送り込むことです。 ▽続きはこちらをご覧ください。 https://www.brooksinstrument.com/ja-jp/blog/titanium-nitride-coating-using-cvd-process

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ブルックス エキスパートサポートツール(BEST)

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ブルックスエクスパートサポートツール『BEST(Brooks Enhanced Support Tool)』は、SLA58XXおよびSLAMfXXシリーズ専用の、高機能マスフローコントローラ、メータ、圧力コントローラを制御するWindowsベースのアプリケーションソフトウェアです。このツールを使用することにより、セットアップ、設定、診断、トラブルシューティング、バルブ調整、キャリブレーション(別途ライセンスキーが必要)を含む機能を利用することができます。 デバイスの上部にある診断ポートとお使いのコンピュータを、専用ケーブルで接続してアクセスします。仕様、ライセンスの要件、操作方法については、お問い合わせください。 対応する製品は下記ページをご確認ください。 https://www.brooksinstrument.com/ja-jp/products/accessories-software/product-software/brooks-expert-support-tool ■現在公開中のバージョン V5.14.1.0 V5.12.0.0 V5.10.0.0

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【製品情報】圧力ベース・メタルシール・マスフローコントローラ『GP200シリーズ』

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『最高の性能を最大限に引き出す』 半導体製造における高度なエッチングやデポジションのプロセスに特化して設計された、業界初の完全圧力不感応タイプの圧力ベースのマスフローコントローラ(P-MFC)です。 GP200シリーズP-MFCは、従来のP-MFCの限界を克服し、低蒸気圧のプロセスガスでも高精度なプロセスガス供給を可能にする特許取得済みのアーキテクチャを採用しています。また、差圧センサーを内蔵し、下流側にバルブを配置するなど独自の設計を採用することで、業界で最も広い範囲の動作条件で高精度のプロセスガス供給を可能にしています。 幅広いプロセス条件に対応しているため、従来のP-MFCやサーマルMFCの代替品やアップグレード品として使用することができます。また、圧力調整器や変換器などの部品が不要になるため、ガス供給システムを簡易化し、コストを低減することができます。 【主な用途】 ■ 半導体製造 ■ エッチング ■ CVD ■ 高純度のオールメタル流路を必要とするガス流量制御アプリケーション

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ITWジャパン株式会社

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当社は、重工業、石油・ガス精製、化学や石油化学の研究、薬品薬剤や生物医薬品の生産、また、太陽電池、LED、薄膜、光ファイバー、半導体の製造装置など、さまざまな分野でご利用いただく製品をご提供しております。 プロセスの制御、正確な測定を行える環境設定に貢献することで、お客様側のプロセスの精度が高まり、常にお客様が競争力を発揮できるよう寄り添い切磋琢磨しながら、ビジネスの発展と成長を遂げてまいりました。 ご要望の際は、お気軽にご相談ください。

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