デバイス1台でさまざまなガスと流量に対応し、柔軟な対応を実現しました！
『GF40シリーズ』は、当社独自のMultiFloテクノロジーを搭載したサーマル式のマスフロー コントローラ/メータです。 さまざまなガスを使用する場合、ガスの種類を頻繁に変更する場合、制御精度は維持したまま、 フルスケールレンジを変更する必要のあるシステムやプロセスに好適です。 MultiFloテクノロジーは、比類のない柔軟性を提供します。 1台のデバイスで、数千パターンの異なるガス・流量範囲の組み合わせに対応しています。 【特長】 ■専用のソフトウェアで設定変更が可能な、マルチガス/マルチレンジ機能 ■エラストマシールのオプションが豊富ため、さまざまなガスに対応 ■長期安定性に優れたハステロイ製センサを採用 ■実ガス試験に基づく100種類以上のガスデータを搭載 ■負荷の高いアプリケーションでも、1秒未満の応答時間とセットポイント ±1%の制御精度を実現 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【その他の特長】 ■ツールの通信系から独立した、アクセスしやすい診断サービスポートを搭載 Brooks Expert Support Tool と MultiFlo Configurator の2種類の弊社専用ソフトウェアに対応 ■耐腐食性センサにより、最大級の稼働率とスループットを保証するセンサの長期安定性を提供 ■DeviceNet、EtherCAT、Profibus、RS-485/アナログインターフェースなど、 豊富な通信オプション ■ユーザー様の所有するガス種と流量レンジが固定されたMFC/MFMの予備品や在庫の削減 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■太陽電池CVD（化学蒸着）システム ■ライフサイエンスバイオリアクタ ■真空プロセス ■ナノテクノロジー/MEMS製造 ■プラズマ、ガラス、ウェブ被膜システム ■マニホールド/ガス供給システムの選択肢 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
当社は、重工業、石油・ガス精製、化学や石油化学の研究、薬品薬剤や生物医薬品の生産、また、太陽電池、LED、薄膜、光ファイバー、半導体の製造装置など、さまざまな分野でご利用いただく製品をご提供しております。 プロセスの制御、正確な測定を行える環境設定に貢献することで、お客様側のプロセスの精度が高まり、常にお客様が競争力を発揮できるよう寄り添い切磋琢磨しながら、ビジネスの発展と成長を遂げてまいりました。 ご要望の際は、お気軽にご相談ください。