薄膜技術の基礎知識『PVDとCVDの技術』

CVDとPVDの比較や流量計と圧力計の応用、プロセス制御のデジタル化とアプリケーション事例をご紹介しております

日常的に小型化、高性能化が進む世界。 携帯電話も、数年前には想像できなかったような機能を備えています。 このような高性能を実現したのは、以下のような幅広い用途で利用されている薄膜技術のおかげです。 【薄膜技術　ご利用用途】 ・マイクロエレクトロニクス ・ガラスの反射防止膜 ・医療機器への抗菌性金属コーティング ・フレキシブルな太陽電池 薄膜技術とは、「基板表面と呼ばれる対象物に薄膜材料を作成、コーティング、加工するプロセス」と定義されています。 本資料では、薄膜技術の説明やCVDとPVDの比較や流量計と圧力計の応用、プロセス制御のデジタル化とアプリケーション事例をご紹介しております。 是非、ご一読くださいませ。 ★CVDとPVDの説明をさらに掘り下げた基礎知識や ガラス業界向けのガラスコーティングに関する基礎知識資料も進呈！ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 流量計
• 流量制御

耐久性に優れた製品を多数ラインアップ。修理メンテナンスなども対応可能。バイオ・EPC・薄膜業界へのアプローチを紹介した資料進呈

当社では、マスフローコントローラ、プレッシャーコントローラ、 トランスデューサなどの、流量・圧力制御に関する機器を販売しています。 長期間にわたり安定して動作可能な高信頼製品を多数ご用意。 技術研修や校正、修理メンテナンスなどのサービスも提供しています。 現在、バイオ・EPC・薄膜業界それぞれに適した機器や 特長・導入メリットなどを紹介した資料をまとめて進呈中です。 【資料ラインアップ】 ■流量・圧力計測機器＜バイオ医薬品・ライフサイエンス業界＞ ■面積式流量計＜EPC向けフローソリューション＞ ■気体・液体用マスフローコントローラ＜真空・圧力計測と制御＞ ※各資料は「PDFダウンロード」からご覧いただけます。 　お問い合わせもお気軽にどうぞ。

• 流量計
• 圧力計
• コントローラ

圧力制御を自動化し、圧力/背圧レギュレータとして使用できます！

オートプレッシャーコントローラ『SLA/SLAMfシリーズ』は、豊富なオプションと機能を備えています。 SLA/SLAMfシリーズ マスフローコントローラおよびメータと組み合わせることで、シングルプラットフォームの利点である、制御（プロセス）に一貫性を持たせることができます。 SLA/SLAMfシリーズは、国際標準にトレーサブルな一次流量校正システムを使用しており、当社の優れた計測システムおよび手法に基づき、高精度、ゼロ点の長期安定性、優れた再現性を特徴としています。

• 圧力制御

デバイス1台でさまざまなガスと流量に対応し、柔軟な対応を実現しました！

『GF40シリーズ』は、当社独自のMultiFloテクノロジーを搭載したサーマル式のマスフロー コントローラ/メータです。 さまざまなガスを使用する場合、ガスの種類を頻繁に変更する場合、制御精度は維持したまま、 フルスケールレンジを変更する必要のあるシステムやプロセスに好適です。 MultiFloテクノロジーは、比類のない柔軟性を提供します。 1台のデバイスで、数千パターンの異なるガス・流量範囲の組み合わせに対応しています。 【特長】 ■専用のソフトウェアで設定変更が可能な、マルチガス/マルチレンジ機能 ■エラストマシールのオプションが豊富ため、さまざまなガスに対応 ■長期安定性に優れたハステロイ製センサを採用 ■実ガス試験に基づく100種類以上のガスデータを搭載 ■負荷の高いアプリケーションでも、1秒未満の応答時間とセットポイント 　±1%の制御精度を実現 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 流量計
• 流量制御

すべてを可能にするMFC

超高速応答時間と高レベルな清浄度を備えた『GF125シリーズ』は、第二世代の多変量計測、PTI（圧力変動耐性）メタルシールマスフローコントローラです。圧力と温度の変動によるプロセスガス流量の変動を最小限に抑制します。標準のMultiFlo テクノロジーにより、ガスラインから切り離したり、精度を犠牲にすることなく、数千種類ものガスタイプとレンジの組み合わせをサポートします。 その結果、 収率と生産性を最大限に拡張する業界最高のPTI性能とともに、各ポイントの圧力レギュレータ、圧力トランスデューサ、関連するハードウェア設置の必要性を減らすことにより、ガスパネルのサイズとコストを縮小します。 【特長】 ■長期的なゼロ点安定性：0.5％フルスケール/年以下 ■セトリングタイム：300 ms - 700 ms以下 ■フルスケール流量レート 最大300 slpm ■メタルシール流路：4µ インチ Raの表面仕上げ ■SEMI F20準拠接ガス･接液部材質 ■耐腐食ハステロイ(R) 製T-Riseセンサ など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。

• 流量計
• 流量制御

応答速度および繰り返し性に優れたガス流量コントロール用アプリケーション

『GF100シリーズ』は、優れた応答速度および繰り返し性で、高清浄度 および超高清浄度のプロセスガス供給を実現したメタルシールマスフロー コントローラ/メータです。 高い繰り返し性と安定性能を確保し、業界標準を超える信頼性をご提供。 業界最高レベルのガス清浄度を実現するとともに、プロセスの柔軟性と 効率性を向上し、収率と生産性を最大限に拡大することができます。 【特長】 ■長期的なゼロ点安定性：0.5％フルスケール/年以下 ■セトリングタイム：700 ms - 1秒以下 ■フルスケール流量レート 最大300 slpm ■メタルシール流路：4µ または 10µ インチ Raの表面仕上げオプション ■耐腐食ハステロイ(R) 製T-Riseセンサにより、温度が上昇しても、 　測定の再現性を向上　など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。

• 流量計
• 流量制御

株式会社フクダは漏れ検出を追求して60年、漏れ検査（リークテスト）の未来型を追求します。 【 各種漏れ試験に対応：エアリークテスト / ガスリークテスト（水素ガス ・ ヘリウムガス） 】 気密性・密封性を検査するための漏れ試験機器を開発・製造・販売しています 検査対象ごとに適切なテスター・装置をご提案いたします 【 対象業界と検査対象例 】 ・自動車業界：エンジン、FC部品、バルブ・配管、各種部品 ・電子部品業界：スマートフォン、キーレススイッチ、各種小型センサ ・医薬品 / 食品 / 化粧品業界：ボトル容器、シリンジ、バイアル、点眼剤容器、ピロー包装、PTP包装 業界別に最適なリークテスターをご提案いたします 【 ISO認証 】JIS Q 9001:2015（ISO 9001:2015）

この度、2026年2月4日(水)～6日(金)にかけて開催される 「テクニカルショウヨコハマ2026」に出展させていただく運びとなりました。 【出展小間位置】Ｈ２６ 「テクニカルショウヨコハマ2026」 〈主催〉公益財団法人神奈川産業振興センター、一般社団法人横浜市工業会連合会等との共催 〈開催日〉2月4日(水)～2月6日(金) 〈開催場所〉パシフィコ横浜 ＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿ ご来場に際しては、事前来場登録が必要となります。 下記のリンクよりご登録が可能です。 引き続き社員一同皆様方のご期待にお応えできる様、精進して参りますので、 何卒倍旧のご愛顧を賜ります様、宜しくお願い申し上げます。

照射距離5ｃｍの距離から５秒間照射＞99.99%不活化 照射距離10ｃｍから10秒間照射＞99.94％ 照射距離20cmから10秒間照射で＞99.44% 対象:新型コロナウイルス デルタ株 使用ランプ：冷陰極殺菌灯スパイラル形状12W 山口大学共同獣医学部獣医微生物学分野の早坂大輔教授、下田宙准教授への委託研究で実施したIn vitro試験(試験管内の実験)において、照射距離5ｃｍの距離から５秒間照射することにより、シャーレ上の新型コロナウイルス デルタ株を＞99.99%不活化することを確認した。 また、他の条件においても、照射距離10ｃｍから10秒間照射した場合に＞99.94％、照射距離20cmから10秒間照射で＞99.44%の同ウイルスへのウイルス不活化効果を確認した。 (※本試験結果は実使用環境での効果を示すものではありません。)

「Grabee」の林野火災AI検知は、ドローンによる空撮映像からリアルタイムに火炎をAI検知して、 地図に検知場所のプロットが可能な次世代のAI監視システムです。 近年問題となっている林野火災における火災箇所の迅速な位置推定、延焼エリアの範囲推定に最適です。 また、映像伝送システムと組み合わせることにより、関係各所へリアルタイムで映像を共有することが可能です。 Grabeeによる火炎検知は、林野火災発生時の消火活動に向けた新たなドローン活用ソリューションです。

試験機関：日本食品分析センター　大阪支所 試験対象：表皮ブドウ球菌 試験結果： 30分後 90.7%不活化 60分後99.54%不活化 90分後99.99%不活化 試験チャンバー：25㎥(6.6畳相当) ※本試験結果は実使用環境での効果を示すものではありません。