【製品情報】マスフローコントローラ/メータ『GF40シリーズ』

モデル GF40
『デバイス1台で さまざまなガスと流量に対応します』
1台のデバイスで複数のガスに対応するので、プロセスの柔軟性と生産性が最大限に向上します。ブルックスインスツルメント独自の MultiFlo テクノロジーを搭載したGF40シリーズエラストマシールマスフローコントローラ/メータは、多様なガスを使用する、頻繁にガスの種類を変更する、またはガスの測定と制御精度は維持したまま、範囲を再調整する必要のあるシステム、プロセス、施設に最適です。これまでにない流量測定と制御性能を備え、プロセスの柔軟性を新たな次元に高めます。
用途
■ 太陽電池CVD(化学蒸着)システム
■ ライフサイエンスバイオリアクタ
■ 真空プロセス
■ ナノテクノロジー/MEMS製造
■ プラズマ、ガラス、ウェブ被膜システム
■ マニホールド/ガス供給システムの選択肢

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