【動画】マスフローコントローラ(MFC)『SLAシリーズ』動作原理

SLAシリーズにおける動作原理を動画で解説しております。(英語)
https://www.youtube.com/watch?v=XKpX3rrt1qc
動画チャプター
00:00 Brooks Instrumentとは
00:10 熱式質量流量計への電源の接続方法
00:24 熱式質量流量計の基本構造
00:35 気体流の一部をラミナーフローエレメントで分岐
00:56 熱センサーによる温度差の測定
01:08 優れたセンサー安定性
01:37 プロセスガス流量の測定方法
02:17 熱式質量流量計の回路基板
02:34 高度なアラームおよび診断機能とは
<コリオリ式流量計がもたらす主な利点>
■センサの長期安定性により、メンテナンスや定期的な再キャリブレーションの必要がなく、総所有コストを削減
■ブルックスインスツルメント独自のサーマルセンサテクノロジーにより、S/N比を改善し、低セットポイントにおける流量精度を向上

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