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コンポーネント×VISTA株式会社 - 企業1社の製品一覧

製品一覧

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成膜関連製品 TELEMARK 真空蒸着用コンポーネント

蒸着用電子銃など真空蒸着のことならお任せください。

VISTA株式会社は、TELEMARK製の電子銃や水晶膜厚モニターなど多彩なラインアップで取り揃えております。 TELEMARK社の電子銃は、超高真空対応型、高真空汎用型、シングルポケット、回転型、直線型、ルツボ容積4ccから1500ccまで、最大ビームパワー3kWから15kWまでと、豊富で幅広い製品群を用意しております。 また、蒸着装置の水分を効果的に取り除くことは、真空蒸着にとって必須の課題です。 TELEMARKのクライオトラップ TVPシリーズは、真空チャンバー内に設置したクライオコイルに-150℃の冷媒を循環させることにより、水蒸気を吸着排気し、水蒸気分圧を効果的に下げ、また排気時間を劇的に低減します。 【ラインナップ】 ○電子銃 ○電子銃電源及びアクセサリー ○水晶膜厚モニター/膜厚コントローラー ○クライオトラップ TVPシリーズ ○イオンソースシステム 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

  • 真空機器
  • その他理化学機器
  • 蒸着装置

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チタン合金製真空コンポーネント

既存の真空チャンバー、真空部品をチタン合金製に変えてみませんか?

チタン合金を真空チャンバーや真空部品の材料に用いることにより、非常にガス放出の小さい真空システムを可能にする技術を開発いたしました。これにより素早く、簡単に超高真空/極高真空を得ることが可能になりました。 チタンはもともと真空への応用に適した素材です。軽量、完全非磁性、低熱膨張率、低熱容量、などなど多くの利点を有しています。我々の技術は、この本来優れたチタン材に、さらに真空応用にとって重要な特性を付け加えました。 表面処理技術の開発により、ガス放出をステンレスに比べ2桁ないし3桁減少させることができました。これにより、非常に高速に超高真空への排気が可能です。 特殊なチタン合金の開発により、ステンレスに比較して強度、硬度ともに高く、超高真空に不可欠なCFフランジが可能になりました。 製造技術の開発により、従来困難であったチタンの溶接やロー付けが信頼性良く可能となりました。これにより、様々な複雑形状の真空チャンバーや真空部品の製造が可能になりました。

  • 真空機器
  • その他理化学機器

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