蒸着用電子銃など真空蒸着のことならお任せください。
VISTA株式会社は、TELEMARK製の電子銃や水晶膜厚モニターなど多彩なラインアップで取り揃えております。 TELEMARK社の電子銃は、超高真空対応型、高真空汎用型、シングルポケット、回転型、直線型、ルツボ容積4ccから1500ccまで、最大ビームパワー3kWから15kWまでと、豊富で幅広い製品群を用意しております。 また、蒸着装置の水分を効果的に取り除くことは、真空蒸着にとって必須の課題です。 TELEMARKのクライオトラップ TVPシリーズは、真空チャンバー内に設置したクライオコイルに-150℃の冷媒を循環させることにより、水蒸気を吸着排気し、水蒸気分圧を効果的に下げ、また排気時間を劇的に低減します。 【ラインナップ】 ○電子銃 ○電子銃電源及びアクセサリー ○水晶膜厚モニター／膜厚コントローラー ○クライオトラップ TVPシリーズ ○イオンソースシステム 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【特徴】 ○電子銃 →超高真空対応型、高真空汎用型、シングルポケット、回転型、直線型 →ルツボ容積4ccから1500ccまで、最大ビームパワー3kWから15kWまで ○電子銃電源及びアクセサリー →3kWから20kWまで計10機種の豊富な品揃え →スイープ電源を標準装備 ○水晶膜厚モニター／膜厚コントローラー →蒸着コントローラ Model 880 標準で2センサーの同時計測が可能、8センサーまで拡張可能 →膜厚/レートモニタ Model 855 制御機能はないがレートの監視、膜厚監視用途には経済的 ○クライオトラップ TVPシリーズ →クールダウンが早くサイクルタイムを短縮できる →小さいフットプリント、速いデフロストが可能 ○イオンソースシステム →SaintechシリーズIII イオンソース 軽量コンパクトで装置への取り付け自由が大きい 高効率の水冷構造により動作温度が非常に低く(70～80℃)基板への 熱ダメージが少なく、熱により消耗する部品が皆無でメンテナンスフリー ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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VISTA株式会社は、真空技術、真空市場に長年の経験を有するスタッフにより、極、超高真空に対応した真空計、真空ポンプ等の開発、製造、販売、コンサルティング、技術受託を行う真空技術の専門会社です。市販の真空製品に飽き足らない方は是非ご相談ください。