DLCコーティングと成膜方法
当社で行っている「イオン源蒸着」「PCVD」「FAD」について説明いたします！
DLCの成膜には、PVD(物理蒸着)や、CVD(化学蒸着)などの技術が用いられます。 イオン源蒸着は、フィラメントを加熱し、熱電子により炭化水素ガスを イオン化させ、電位差をつけた処理物に衝突させてコーティングする、 PVDの一種です。 PCVD(プラズマ化学蒸着)は、プラズマ領域でイオン化させた炭化水素ガス を、電位差をつけた処理物に衝突させて、コーティングします。 FAD(フィルタードアーク蒸着)は、磁場によるフィルターでイオン化 されたカーボンのみを処理物に引き込み、成膜します。 【当社で行っている成膜方法】 ■イオン源蒸着 ■PCVD(プラズマ化学蒸着) ■FAD(フィルタードアーク蒸着) ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社オンワード技研 本社
- 価格：応相談
