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シールの長寿命化を実現した、ふっ素樹脂リングとゴムOリングを複合構成にしたシール材「キャップシール」！
キャップシールとはふっ素樹脂リングとゴム製Ｏリングを組合せたシールで、往復運動、回転動用としてＯリングだけで使用する場合より、長寿命低摩擦の優れた特性を発揮します。 【特徴】 ■長寿命化を実現！ ■スティック・スリップをほとんど起こしません。 ■しゅう動抵抗を小さくできます。 ■始動抵抗としゅう動抵抗がほぼ同じ ■従来のＯリング溝寸法のまま使用可能 ■高圧（往復運動：20.6MPa〔210kgf/cm2〕、回転運動：4.9MPa〔50kgf/cm2〕までバックアップリングなしで使用可能 ※詳細はカタログをダウンロード頂くか直接お問い合わせください。
スリットバルブシール
●半導体、液晶をはじめ多岐の業界で使用されている真空機器のシール材に対し、総合シールメーカーとして長年にわたり培った経験、豊富な材料、独自の最適形状設計を組み合わせ、様々な御要求にお応えし、ソリューションをご提供しております。 ●半導体業界向けには、低発塵性、耐プラズマ性、耐薬 品性、低固着特性に優れた製品を、液晶業界向けには、基板大型化に対応した製品を製造・販売しております。 ●同業界向けの製品群の１つとして、製造装置の成膜工程などの処理チャンバー内にウエハを搬送する入り口（ゲート）に使用できる、チャンバー用スリットバルブシール（ゲートバルブシール）をご提供しております。 【特長】 ★［設計・形状］ 断面形状の最適形状化により、Oリングに比べて、下記の優位性をもっています。 ・溝への装着性に優れる ・捻れによるトラブルが発生しにくい ・溝から脱落しにくい ★[材料] 低発塵性、耐摩耗性、耐プラズマ性などの種々の御要求に対し、各種材料での製作が可能です。
高機能メタルシール！！各種真空機器、半導体製造装置などに最適！
●機器仕様の多様化に伴い、従来のゴム材料や樹脂材料を用いたシールでは、その材料特性から使用に耐えられない場合が増えてきています。 ●このような場合、メタルＯリングに代表されるメタルシールが選択されていますが、締付力が大きい、復元量が小さいという弱点から、ゴム材料や樹脂材料を用いたシールからの置き換えは容易にはできません。 ●これらの問題を解決するため、メタルシールとしての長所を持ちながら、小さな締付力で大きな復元量を有する全く新しいメタルシール『サンリーメス(R)』を開発しました。
真空から高圧まで、広範囲で高いシール性能！断面がU字形のふっ素樹脂リングとステンレス製ばねを組み合わせた、ふっ素樹脂複合シール
ふっ素樹脂複合シール「サンフロンＵシール」は、耐熱性、耐寒性、耐薬品性、耐摩耗性などに優れており、運動用、固定用途のいずれにも使用可能です。 ゴム製シールが使用できない厳しい条件に好適な、ふっ素樹脂複合シールです。 【特長】 ■清浄性、低摩擦、長寿命などの特性を要求される機器に実績有！ ■密封流体の圧力に応じて緊迫力が変る自封性シール！ ■ユニークな形状および構成 ■真空から高圧までの幅広い圧力範囲で優れる！ ■-200℃から+250℃の広い温度範囲で使用可能！ ■JISB2401 PシリーズのＯリングと同じ溝で使用可能！ ※詳細はカタログをダウンロード頂くか直接お問い合わせ下さい。
