スリットバルブシール
●半導体、液晶をはじめ多岐の業界で使用されている真空機器のシール材に対し、総合シールメーカーとして長年にわたり培った経験、豊富な材料、独自の最適形状設計を組み合わせ、様々な御要求にお応えし、ソリューションをご提供しております。 ●半導体業界向けには、低発塵性、耐プラズマ性、耐薬 品性、低固着特性に優れた製品を、液晶業界向けには、基板大型化に対応した製品を製造・販売しております。 ●同業界向けの製品群の１つとして、製造装置の成膜工程などの処理チャンバー内にウエハを搬送する入り口（ゲート）に使用できる、チャンバー用スリットバルブシール（ゲートバルブシール）をご提供しております。 【特長】 ★［設計・形状］ 断面形状の最適形状化により、Oリングに比べて、下記の優位性をもっています。 ・溝への装着性に優れる ・捻れによるトラブルが発生しにくい ・溝から脱落しにくい ★[材料] 低発塵性、耐摩耗性、耐プラズマ性などの種々の御要求に対し、各種材料での製作が可能です。
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基本情報
●半導体、液晶をはじめ多岐の業界で使用されている真空機器のシール材に対し、総合シールメーカーとして長年にわたり培った経験、豊富な材料、独自の最適形状設計を組み合わせ、様々な御要求にお応えし、ソリューションをご提供しております。 ●半導体業界向けには、低発塵性、耐プラズマ性、耐薬 品性、低固着特性に優れた製品を、液晶業界向けには、基板大型化に対応した製品を製造・販売しております。 ●同業界向けの製品群の１つとして、製造装置の成膜工程などの処理チャンバー内にウエハを搬送する入り口（ゲート）に使用できる、チャンバー用スリットバルブシール（ゲートバルブシール）をご提供しております。 【特長】 ★［設計・形状］ 断面形状の最適形状化により、Oリングに比べて、下記の優位性をもっています。 ・溝への装着性に優れる ・捻れによるトラブルが発生しにくい ・溝から脱落しにくい ★[材料] 低発塵性、耐摩耗性、耐プラズマ性などの種々の御要求に対し、各種材料での製作が可能です。
価格情報
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納期
用途／実績例
用途・実績例 ■各種真空装置のスリットバルブシール （ゲートバルブシール） ■真空チャンバーのシール よく使用される業界 ■半導体・液晶、真空
企業情報
1907年の創業以来、電線・ケーブル等の製品開発に取り組んできた技術を武器に、高機能シール部品など、幅広い産業分野に高付加価値な製品やサービスを提供して参ります。