固着対策シール
固着対策シール
●半導体、液晶、太陽電池をはじめ多岐の業界で使用されている真空機器のシール材に対し、総合シールメーカーとして長年にわたり培った経験、豊富な材料、独自の最適形状設計を組み合わせ、様々な御要求にお応えし、ソリューションをご提供しております。 ●半導体・液晶製造装置向けには、低発塵性、耐プラズマ性、耐薬品性はもちろんのこと、低固着特性に優れた製品を製造・販売しております。
- 企業：三菱電線工業株式会社
- 価格：応相談
シール(製造) - 企業1社の製品一覧
製品一覧
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三菱電線工業の耐熱ふっ素ゴムシール「サンエラストＫ」
長期耐久性に優れたふっ素ゴム！！従来のふっ素ゴムに比べ高温（200〜220℃）での使用にも耐えます。
■高温における長期圧縮永久歪みが小さい ■高温での質量減少が従来材料に比べ少ない ■真空保持性能に優れる ■パーフロロエラストマーより低価格です
- 企業：三菱電線工業株式会社
- 価格：応相談
スリットバルブシール
スリットバルブシール
●半導体、液晶をはじめ多岐の業界で使用されている真空機器のシール材に対し、総合シールメーカーとして長年にわたり培った経験、豊富な材料、独自の最適形状設計を組み合わせ、様々な御要求にお応えし、ソリューションをご提供しております。 ●半導体業界向けには、低発塵性、耐プラズマ性、耐薬 品性、低固着特性に優れた製品を、液晶業界向けには、基板大型化に対応した製品を製造・販売しております。 ●同業界向けの製品群の１つとして、製造装置の成膜工程などの処理チャンバー内にウエハを搬送する入り口（ゲート）に使用できる、チャンバー用スリットバルブシール（ゲートバルブシール）をご提供しております。 【特長】 ★［設計・形状］ 断面形状の最適形状化により、Oリングに比べて、下記の優位性をもっています。 ・溝への装着性に優れる ・捻れによるトラブルが発生しにくい ・溝から脱落しにくい ★[材料] 低発塵性、耐摩耗性、耐プラズマ性などの種々の御要求に対し、各種材料での製作が可能です。
- 企業：三菱電線工業株式会社
- 価格：応相談
三菱電線工業のメタルシール「サンリーメス」シリーズ
高機能メタルシール！！各種真空機器、半導体製造装置などに最適！
●機器仕様の多様化に伴い、従来のゴム材料や樹脂材料を用いたシールでは、その材料特性から使用に耐えられない場合が増えてきています。 ●このような場合、メタルＯリングに代表されるメタルシールが選択されていますが、締付力が大きい、復元量が小さいという弱点から、ゴム材料や樹脂材料を用いたシールからの置き換えは容易にはできません。 ●これらの問題を解決するため、メタルシールとしての長所を持ちながら、小さな締付力で大きな復元量を有する全く新しいメタルシール『サンリーメス(R)』を開発しました。
- 企業：三菱電線工業株式会社
- 価格：応相談
大口径シール
大口径シール
●総合シールメーカーとして、長年にわたり培った経験、豊富な材料、独自の最適形状設計を組み合わせ、様々なご要求にお応えできるよう取り組んでおります。 ●特に液晶業界向けには、低パーティクル、耐薬品性 等にすぐれたシール製品、および基板大型化に対応した製品を、ご提供しております。
- 企業：三菱電線工業株式会社
- 価格：応相談
耐薬品性ふっ素ゴムシール「サンエラストI」
耐薬品性フッ素ゴムシール！従来のフッ素ゴムに比べ耐薬品性が大幅UP
●半導体、液晶、化学プラント、食品、および塗装などの業界では、溶剤、薬品、腐食性ガス等多くの流体が使用されております。 ●これらの流体をシールするには従来ふっ素ゴムが使用されておりますが、膨潤あるいは溶解などの問題で使用範囲が限られていました。 ●サンエラスト（3301-70）は、従来のふっ素ゴムに比べ耐薬品性が大幅に向上しているのに加え、従来のふっ素ゴムと同等のシール性、耐熱性を備えています。 ●従って使用範囲は大幅に広がり、これまで複合シールを使用している箇所にゴム単体で使用する事も出来、シール性や装着性を大幅に向上させることが可能です。 【特長】 ◆従来のふっ素ゴムでは溶解したり、膨潤が大きい水グライコール系、不燃性作動油、メタノール、エチレンジアミン、水酸化ナトリウム、アンモニア水、ラッカーシンナーに使用できます。 ◆耐熱・耐油性は従来のふっ素ゴムと同等、耐久性は大きく向上しています。 ◆耐摩耗性が優れています。（従来のふっ素ゴムの約５倍） ◆パーフロロエラストマーより低価格です。
- 企業：三菱電線工業株式会社
- 価格：応相談
