更新日： 集計期間:2025年03月26日～2025年04月22日
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1nmの分解能リニアアナログエンコーダ内蔵によるフルクローズドループ制御！
『X-LDQ-AEシリーズ』は、最高分解能（最少移動単位）50nmの 精密電動リニアステージです。 画像解析等低振動搬送用途、高速・高精度搬送用途などに好適。 また、コントローラを内蔵しており、他のZaber製品と デイジーチェーン接続が可能となっております。 【特長】 ■1nmの分解能リニアアナログエンコーダ内蔵による フルクローズドループ制御、高速高精度位置制御 ■ストローク長75、150、300、450、600及び1000mm、最大推力40N ■繰り返し精度：＜0.3μm ■位置決め精度：2.5μm ■最高速度：1500mm/s ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
コントローラ・ドライバー内蔵！高速・高精度搬送などの用途に好適
『X-LDM-AEシリーズ』は、高精度アナログリニアエンコーダを 内蔵した精密電動リニアステージです。 ストローク長が60、110、210mmとなっており、位置決め分解能は＜s1nm。 また、最大中心荷重は120N（約12Kg）で、最小移動単位、 繰り返し精度が25nm＜0.08μmの製品となっております。 【特長】 ■位置決め精度：＜1μm ■最高速度：1200mm/s ■最大加速度：3.5G ■コントローラ内蔵 ■他のZaber製品とデイジーチェーン接続が可能 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ガラス基板搬送用カセットをシンプルに位置決めするステージユニットです。昇降式タイプもあります。
各工程におけるバッファー部で、ガラス基板搬送用カセットを、シンプルに位置決めするステージユニットです。 特許取得商品です。 滑るように全方向に移動できるILSステージユニットは、コンパクトにもかかわらず大荷重を受けることができ、非常にスムースな動きでカセットを位置決めできます。 位置決め完了後、AGVによりカセット受け渡し後の無負荷状態には、可動部が常に原点に復帰し、次のカセットを待ちます。 また、可動部をホールドさせることができるSタイプもあります。
【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりました！
光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能で位置決めが可能です。 ストロークは『 20mm 』と長く、搬送と精密位置決めが1台でできます。 ナノメートルオーダーの波長を扱うような研究分野で利用されています。
オミクロン社製サンプルホルダーに対応！コンパクトな傾斜付きステージ
『KSKS-1』は、オミクロン社製サンプルホルダーを加熱するステージです。 取り付けフランジがICF70でコンパクト。 角度付きポートからでもステージが水平となる様な傾斜付きステージのため、 全方位から導入が可能なほか、駆動機構を備えており、任意の位置へ移動調節可能です。 加熱温度450℃のヒーターをステージ内部に設置しており、加熱時の赤熱発光が 漏れる事はありません。 また、真空ベーキング（≦200℃）対応可能な構成となっており、超高真空下での使用が可能です。 【特長】 ■オミクロン社製サンプルホルダーに対応 ■斜めポートより導入可能な、傾斜ステージ ■搬送/退避位置へ移動可能な、駆動機構を装備 ■ICF70より導入可能な、コンパクトな構成 ■加熱時の赤熱発光が漏れる事がない ■超高真空下での使用が可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
超高真空領域での使用が可能！中空構造の2軸の可動ステージ
『KXY-152』は、中空構造の2軸（X軸・Y軸）の可動ステージです。 駆動部にはマイクロメーターヘッドを用いることで±2µmでの位置決めが可能です。 内部の駆動方式をベローズ方式にすることで、超高真空領域での使用可能な ほか、有効内径Φ100mmを設けることが可能となる為、内部のスペースを 有効に使用できます。 また、オプションのモーター駆動ユニットを追加する事で、 更に位置決め精度を高めることや自動での駆動が可能となります。 【特長】 ■マイクロメーターの移動量は±12.5mm ■超高真空領域での使用が可能 ■本体上部にM8のネジ穴を4箇所ご用意 ■アイボルトを取り付けることで吊り具との接続が簡単に ■他の直線導入機と組み合わせる事で搬送ラインを簡単調整 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
取付の違うラインカメラ、産業用カメラ、照明どのように固定していますか？撮像角度、照明の照射角度、どうやって可変させていますか？
ラインスキャン/ラインセンサーカメラ用に開発されたFLEX-L、産業用カメラ/エリアカメラ用に開発されたFLEX-A、画像検査専用の高剛性検査台。検査プラットフォームであり、テスト用固定治具です。 「機器の取付」「角度の調整」「現場設置」をその場で実現。 すべてネジ止めセッティングの設定強度を持ち、ラインカメラ/エリアカメラ、産業用カメラ設営に必要な光学条件調整機構を標準装備します。 弊社独自の取り付け機構でさまざまな固定ネジ位置のカメラ・照明を固定できる画期的な特徴を持ちます。 [意匠登録、意匠出願中] 「専用サイト：画像処理環境.com (Webサイトから販売しています)」
カムをベースにしたMEGのFA機器は、長年にわたり数多くの産業用機械に採用！
『CPSカムポジショニングステージ』は、ワークが微小化し搬送中の 位置補正が必要とされる機会に合わせ開発されたカム駆動ステージです。 定ピッチ送りのカムを採用し、ボールネジ駆動のステージと同じ感覚で 使用することが可能。 アブソリュートの原点復帰機能を利用し原点センサ不要。 さらに電子ギヤで微細送り設定(0.001mm～)ができます。 【特長】 ■驚きのコンパクトさ ■駆動部の周囲飛び出し0mm ■カム駆動でコンパクト化実現 ■αSTEP AZモータでセンサレス制御 ■ノンスリップガイドで確実動作 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
位置決め精度が求められる半導体製造に最適！ストッパー不要で微動なく固定。
半導体製造において、高精度な位置決めは欠かせません。しかし、従来のアリ溝式ステージでは、ストッパーによる微動や位置ずれが発生し、作業効率の低下や製品不良のリスクがありました。ミラック光学の『セルフロックステージ SLXシリーズ』は、特許取得のロック機構により、止めた位置から微動せず、高精度な位置決めを実現します。 【活用シーン】 - 半導体製造におけるウェハ搬送や検査工程 - 精密部品の加工や組立工程 - マイクロデバイスの製造工程 - 研究開発における精密位置決め - 自動化システムにおける高精度な位置制御 【導入の効果】 - 位置決め精度向上による製品不良率の低減 - ストッパー操作の省略による作業時間の短縮 - 微動による位置ずれ防止による作業効率向上 - 高精度な位置決めによる製品品質の向上 - 長時間安定した位置決めを実現
キワを探る光学条件、実現には何が必要ですか？光学条件セッティング専用に開発した画像環境専用の実験設備
主柱は再現性のある角度ステップ可変、カメラや照明本体は撮像画像をもとに調整したい部位で調整できるラインスキャンカメラ専用の角度調整機構を搭載。ラインスキャンカメラ応用、欠陥検出の光学条件追求の実績から開発された画像処理環境専用の実験設備、FLEX-Lシリーズです。 産業用カメラ(エリアカメラ)の環境に向けたFLEX-Aシリーズもあります。
固定位置の異なるカメラ・照明の固定に苦心していませんか？角度調整、耐荷重、カメラ・照明直接固定を実現した応用テスト台
ラインスキャンカメラ検査環境向けのFLEX-Lシリーズと、産業用カメラ検査環境向けのFLEX-Aシリーズがあります。 カメラや照明のテスト固定に、ブラケットもL金具も不要になります。 カメラの角度、照明の角度の大胆な可変、繊細な微調整を必要とするラインスキャンカメラ特有の難点を克服する専用ステージです。 耐荷重性能も持ち、実機運用も可能です。
試料テスト、検査装置開発、画像処理ライブラリ、AI、アルゴリズム開発のすべての応用に適用する画像処理環境用テスト設備。
試料テスト、ライブラリなどのテストでの困りごとはなんですか？ 案件の都度変わってくるカメラや照明の固定どうしていますか？ ワークの形状でカメラ、照明の角度をどのようにセッティングしていますか？ このどちらもその場で解決できるオールインワン検査台です。 ラインスキャンカメラ環境に向けたFLEX-Lシリーズもございます。
