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セラミックス(耐熱ガラス) - メーカー・企業と製品の一覧

セラミックスの製品一覧

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大型高精度SiCプレートによる改善事例

最大□800x40tのSiCセラミックス製品を高精度で提供します。装置性能向上や熱問題解消等、採用効果を実績にて紹介します。

金属製プレートは重く、熱変形により精度維持が困難です。SiCセラミックスへの代替により様々な問題を解決します。 【仕様】 ■最大寸法 □800(Φ800)x40t ■平面度1~5μm 平行度2~10μm 面粗さRa0.4μm  ※精度は寸法や形状で変わります 【主な特長】 ■軽量 ■高剛性 ■低熱膨張 ■高熱伝導 ■耐摩耗  【採用効果】 ■軽量・高剛性による装置性能向上、エネルギー効率向上、ワーク変形防止  ■高熱伝導・低熱膨張による熱問題の解消 ■耐摩耗性向上による長寿命化 【SiCラインナップ】  SCP01  → 弊社標準品  SCP02  → SCP01と比較し高熱伝導・高抵抗 JFCではセラミックス製品を原料調合から焼成・加工・検査まで弊社独自の技術により社内一貫生産しております。少量試作から量産まで、ご要望にお答えします。 「PDFダウンロード」または「お問い合わせ」よりお気軽にご相談、ご質問ください。

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  • その他半導体製造装置

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