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大型高精度SiCプレートによる改善事例

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炭化ケイ素(炭化珪素 SiC)

最終更新日:2024年03月29日

日本ファインセラミックス株式会社
日本ファインセラミックス株式会社
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最大□800x40tのSiCセラミックス製品を高精度で提供します。装置性能向上や熱問題解消等、採用効果を実績にて紹介します。

金属製プレートは重く、熱変形により精度維持が困難です。SiCセラミックスへの代替により様々な問題を解決します。 【仕様】 ■最大寸法 □800(Φ800)x40t ■平面度1~5μm 平行度2~10μm 面粗さRa0.4μm  ※精度は寸法や形状で変わります 【主な特長】 ■軽量 ■高剛性 ■低熱膨張 ■高熱伝導 ■耐摩耗  【採用効果】 ■軽量・高剛性による装置性能向上、エネルギー効率向上、ワーク変形防止  ■高熱伝導・低熱膨張による熱問題の解消 ■耐摩耗性向上による長寿命化 【SiCラインナップ】  SCP01  → 弊社標準品  SCP02  → SCP01と比較し高熱伝導・高抵抗 JFCではセラミックス製品を原料調合から焼成・加工・検査まで弊社独自の技術により社内一貫生産しております。少量試作から量産まで、ご要望にお答えします。 「PDFダウンロード」または「お問い合わせ」よりお気軽にご相談、ご質問ください。

    その他機械要素その他半導体製造装置ファインセラミックス
大型高精度SiCプレート_trim.jpg

大型高精度SiCプレートによる改善事例

大型高精度SiCプレート_trim.jpg
大型高精度SiCプレート_trim.jpg 02_Engineering ceramics_B20121113-2.jpg
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基本情報

炭化ケイ素(SiC)はJFCにお任せください。 【SiCの特長】 ●他のファインセラミックスと比べ、高温域(1000℃以上)での機械強度の低下が小さく、耐摩耗性に優れる ●共有結合性が強いため、ファインセラミックスの中では最も硬く、耐食性に優れ、液中での摺動特性が良好 ●メカニカルシールやケミカルポンプの軸受け用に好適 ※特性値等の詳細はカタログをご覧下さい。

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用途/実績例

【用途】 ● 摺動部品(メカニカルシール、ケミカルポンプ軸受け、シャフト) ● 粉砕機部品(分級機、気流式粉砕機、ビーズミル) ● 半導体製造装置部品(XYステージ、MOCVDトレー、フォーカスリング、ウェハーチャック) ● 成形機部品(ガラスレンズ成形機部品) ● 耐熱部品(バーナーノズル、高温試験機部品、金属溶融用坩堝) ● 耐摩耗部品(ブラストノズル、ショットブラスト用ブレード、埋設管防護板、釣具糸道)

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【改善事例】大型高精度SiCプレート

【改善事例】大型高精度SiCプレート

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当社は、セラミックの将来性にいち早く着目した総合エンジニアリング会社の日揮株式会社と、宮城県ならびに地元経済界により昭和59年に第3セクターとして設立されました。現在は、日揮ホールディングス株式会社の100%出資会社です。 セラミックスの基礎・応用研究、製品の用途開発ならびに製造・販売に積極的に取り組み、高周波用セラミックス基板・回路部品、産業機械用セラミックス部品ならびに金属セラミックス複合材料(MMC)の試作・開発など、独自の技術と製品で各種先端産業の多様なニーズにお応えしております。

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