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高精度・高速で、安価なシングルポイントセンサ。厚み・距離・高さ測定用に組込み可能なセンサ。半導体ウエハ検査用途にも最適。
『CHRocodile Mini』は、100万円以下の安価な光学式シングルポイントセンサです。高速・高精度な測定/検査が可能で、nm分解能の距離測定、最大4表面、3層厚みの同時測定もできます。粗面、鏡面、色付き材料など表面の状態に依らず計測ができ、測定レンジの範囲も広いセンサです。 【特長】 ■幅広い厚み測定範囲 、様々な材質に対応 厚みは（45um)～厚膜(400mm)までカバー。(屈折率1.5の場合） 距離センサとしては、600um 4mm 10mmの3種類の プローブラインナップ。 ■高分解能（ Zはサブミクロン、XYは数um~） ■開発コスト低減、開発納期短縮に貢献できる、 装置組込み用のソフト開発キット（DLLなど)も用意 ■多業界で豊富な実績 半導体業界、コンシューマー家電、ガラス製造、メディカル分野
コスト重視におすすめな安価なタイプ。厚み測定、距離測定用センサ。ウエハ検査用途にも。
『CHRocodile C』は、安価な光学式シングルポイントセンサです。高速・高精度は他のラインナップと変わらず、nm分解能の距離測定 最大4表面、3層厚みを同時測定できる厚みセンサとして使用できます。また、プローブと本体が一体の手のひらサイズとコンパクトで、組込み時に省スペースを実現し、インラインでの使用もお勧めです。粗面、鏡面、色付き材料など全ての表面に対応し、測定レンジの範囲も広いセンサーです。また、グラファイトコーティングの厚み測定にも使用が可能です。 【特長】 ■幅広い厚み測定範囲 、様々な材質に対応 豊富なプローブラインナップで、厚みは（数um)～厚膜(10mm)までカバー。 ■高分解能（サブミクロン Zは最小8nm～） ■開発コスト低減、開発納期短縮に貢献できる、 装置組込み用のソフト開発キット（DLLなど)も用意 ■多業界で豊富な実績 半導体業界、コンシューマー家電、ガラス製造、メディカル分野 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
XYステージ不要！分光干渉原理による厚みと距離（変位）測定が可能！ウエハ検査用途にも。
『Flying Spot Scanner』は、分光干渉測定技術と高速スキャン システムを結合したスキャナです。 80mm径を高速スキャンしオフライン、インライン、品質管理に対応。 定義可能なスキャン形状とフィルタによる簡単な対象領域の検査ができます。 また、反射面でも良好な結果を得ることが可能です。 【特長】 ■超高速光学スキャン ■測定対象物と光学センサーは固定 ■XYステージ不要 ■分光干渉原理による厚みと距離（変位）測定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
サンプルに対してダメージ、変形、形状への影響無！ホットエンド工程にも対応可能
『CHRocodile MPS2L』は、同時に24測定ポイントができる 新色収差共焦点センサー(MPS)です。 波長差は一定の厚さに対応。 複数ポイントを1つのプローブヘッドで対応可能です。 サンプルに対してダメージ、変形、形状への影響はありません。 【特長】 ■光学式で非接触 ■消耗品使用無 ■サンプルに対してダメージ、変形、形状への影響無 ■傾斜のあるワークにも測定可能 ■ホットエンド工程にも対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
色収差共焦点法・分光干渉法での測定が得意な非接触センサメーカー。高速・高精度な厚み測定、形状測定に強み。様々な材質に対応可！
プレシテックはドイツの非接触センサメーカーです。色収差共焦点法、分光干渉法を利用した 光学式センサの開発・製造をしています。 高速・高精度な厚み測定、形状測定を得意としており、ウエハ厚み、エッジ形状、高さ測定、 平坦度の測定・検査などに使用されています。幅広い測定範囲 、許容角度、様々な材質に 対応でき、全面測定に向いているラインセンサ、エリアスキャナもあります。 半導体製造装置への搭載実績も多数あり、LCD製造装置、フィルムのインライン検査でも 使用されています。また、スタンドアロンなどの卓上機の組み込み用センサとしても 利用されています。 【アプリケーション】 ウエハ加工(研磨など）前後、加工中の厚み測定、フィルム/lコーティング厚み測定 ガラスウエハ肉厚検査、ウエハエッジ形状、ＴＴＶ、平坦度、ワイヤボンディング形状 マイクロバンプ形状、溶接部形状、PCB形状、CMMへ搭載しての非接触距離センサ バッテリー用フォイル厚み、ガラス厚み、エアギャップなど ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
サブミクロン精度で高速・広範囲を３次元形状測定。エッジや斜面にも対応できる広い許容角度が特長。ウエハ検査用途にも。
『CHRocodile CLS』は、100万ポイント/秒で高速3次元形状測定を実現できます。分解能も最大XY 1um Z 0.02umと、非常に高精度な測定が可能。レンジ幅、分解能、精度から最大6種類の測定ヘッドをご用意し、インラインへの適用も可能です。 【特長】 ■広範囲エリアの非接触３次元形状測定 最大8.3mmのライン幅 ■広い許容角度 反射面で±45° エッジや急斜面に対応可能 ■開発コスト低減、開発納期短縮に貢献できる、 コンパクトなユニット、装置組込み用のソフト開発キット（DLLなど)も用意 ■多業界で豊富な実績 半導体業界、コンシューマー家電、ガラス製造、メディカル分野 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
非接触ラインセンサCLS。高精度・高速・広範囲の３次元形状測定。エッジや斜面に適した高許容角度性。ウエハエッジ測定実績多数
『CHROCODILE CLS2』『CHROCODILE CLS2 PRO』は、最大4800万ポイント/秒(標準は、1680万ポイント/秒)で非接触高速３次元形状測定を実現できます。分解能も最大Y1um Z 0.025umと、非常に高精度な測定が可能。全世代品より、測定時間大幅短縮、ウエハエッジ、ワイヤボンダ、マイクロバンプ測定に適した高NA、光量アップなど大幅に改善。形状、表面粗さ、ステップハイト（厚み）、平坦度、ＴＴＶなど使い道は多数。卓上機だけでなく、In-Situ/モニタリング/インラインでの装置組込み用センサとしての使用にも適しています。 【特長】 ■広範囲エリアの３次元形状測定 最大20mmのライン幅 ■広い許容角度 反射面で±53° エッジや急斜面に対応可能 ■開発コスト低減、開発納期短縮に貢献できる、 コンパクトなユニット、装置組込み用のソフト開発キット （DLLなど)も用意 ■多業界で豊富な実績 半導体業界、コンシューマー家電、ガラス製造、メディカル分野 ※詳しくは資料をご覧ください。
フィルムやコーティング、非接触の厚み測定を安価な距離センサーで。斜面にも強く、距離方向分解能20nmを実現！
当社プレシテック・ジャパンの光学式距離センサ/厚みセンサ『CHRocodile C / CHRocodile Mini』は、 測定レンジの範囲が広い非接触コンパクトセンサーです。 斜面にも強く、距離方向20nm～の高分解能でありながら、安価な約100万円～（税別）からご購入可能です。 【活躍シーン例】 ●装置内での製造品の高さ・距離測定による全数検査 ●ガラスやフィルム、グラファイトコーティングの厚みの管理による品質向上 ⇒製造装置メーカーや検査装置メーカー、インテグレータ様にてご採用いただいています。 【特徴】 ・高分解能と購入ハードルを抑えた価格帯を両立 ・フィルム、コーティングの厚みを非接触で測定 ・角度許容度最大+-45度で斜面にも強い ・距離方向分解能20nm～ ・提供するソフトウェア開発キットで自由にソフト作成可能 ・装置組み込みも可能 ・表面や形状に依存せず、粗面及び鏡面にも対応 ※製品詳細は［PDFダウンロード］から資料にてご覧いただけます。 お問い合わせもお気軽にどうぞ。
厚み・形状測定の高精度・高速測定の組み込み光センサ
高精度、高速測定が特長のプレシテックの光学センサで、色収差共焦点方式のシングルポイントセンサです。 厚み・形状測定の時間短縮、全数検査での実績多数あり。 色収差共焦点方式のため、角度許容度の大きいプローブの使用も可能です。 廉価版センサラインナップもあり、約80万円～ご紹介可能です。 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
