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ファイバセンサ搭載！卓上型6、8インチ対応アライナ付ソータ装置
『SYAR110』は、卓上型ロボットとアライナ、カセットステージを 組み込んだソータ装置です。 ウェハをカセットから抜き取り、アライナでセンタリングと オリフラ位置決め後に、他方のカセットに移し替えができます。 また、帯電防止塩ビカバー、各種インターロックを装備しています。 【特長】 ■パソコン画面のレシピ選択によって移載するパターンの選択が可能 ■ファイバセンサ搭載 ■帯電防止塩ビカバー、各種インターロック装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
レシピ選択により移載パターンの選択が可能！卓上型8インチウェハ対応ソータ装置
『SYAR100』は、卓上型ロボットとカセットステージを 組み込んだソータ装置です。 ウェハを1つのカセットから他方のカセットに移し替えできるほか、 パソコン画面のレシピ選択により移載パターンの選択が可能です。 帯電防止樹脂カバー、非常停止スイッチを装備しています。 【特長】 ■ウェハを1つのカセットから他方のカセットに移し替え可能 ■マッピングセンサ搭載 ■帯電防止樹脂カバー、非常停止スイッチ装備 ■専用ソフトによるパソコンでの制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
4ポートソーターを高速化しスループットを向上！6・8インチウェハ対応です
当製品は、4ポートソーターを高速化し、スループットを向上させた装置です。 全てのカセットステージが昇降機能をもち、取出し用と収納用のロボット 2台によるソーティングを行います。 また、1カセットから3カセットへの分割、3カセットから1カセットへの 統合移載が可能。 工場システムと連携させ、ロット毎に移載パターンを選択できます。 【特長】 ■6・8インチウェハ対応 ■全てのカセットステージが昇降機能をもつ ■取出し用と収納用のロボット2台によるソーティングを行う ■1カセットから3カセットへの分割、3カセットから1カセットへの 総合移載が可能 ■工場システムと連携させ、ロット毎に移載パターンを選択できる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
カセットステージ4ポートを持つ！6・8インチウェハ対応の装置をご紹介します。
当製品は、カセットステージ4ポートを持ち、ウェハID読取りによる ソート機能を搭載した装置です。 1カセットから3カセットへの分割、3カセットから1カセットへの 統合移載が可能。 工場システムと連携させ、ロット毎に移載パターンを選択できます。 【特長】 ■6・8インチウェハ対応 ■ウェハID読取りによるソート機能を搭載 ■1カセットから3カセットへの分割、3カセットから1カセットへの 統合移載が可能 ■工場システムと連携させ、ロット毎に移載パターンを選択できる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
