レシピ選択により移載パターンの選択が可能！卓上型8インチウェハ対応ソータ装置
『SYAR100』は、卓上型ロボットとカセットステージを 組み込んだソータ装置です。 ウェハを1つのカセットから他方のカセットに移し替えできるほか、 パソコン画面のレシピ選択により移載パターンの選択が可能です。 帯電防止樹脂カバー、非常停止スイッチを装備しています。 【特長】 ■ウェハを1つのカセットから他方のカセットに移し替え可能 ■マッピングセンサ搭載 ■帯電防止樹脂カバー、非常停止スイッチ装備 ■専用ソフトによるパソコンでの制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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【用途】 ■LED/MEMS/パワーデバイス分野 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
当社は、長年培ってきた半導体製造分野のクリーン搬送技術を基礎に、従来の 検査装置では検査できない特殊なウェハを検査する検査装置、レーザーマーカー 複合検査装置、および各種ローダを新しく開発、設計、製造しております。 特殊ウェハ対応と目視検査の自動化の両面から、お客様のかゆいところに 手が届く「必要なのに、どこにも売ってない装置」の製品化を行います。
