振子式コントロールバルブ SERIES 65.5
過酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適
-高速、パーティクルフリーな動作 -正確な圧力制御 -サービスポート装備（PC接続用とCPAソフトウェア用）
- 企業：VAT株式会社
- 価格：応相談
バルブ(圧力制御) - メーカー・企業と製品の一覧
バルブの製品一覧
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コントロールゲートバルブ Series 64.2
極めて短い制御応答時間、かつ、コンパクトなデザインで使いやすい
-優れた圧力制御能力 -リミットスイッチ付き -サービスポート装備（PC接続用またはサービスBOX接続用）
- 企業：VAT株式会社
- 価格：応相談
均等排気バルブ SERIES 67.0
SEMI/FPDプロセスにおけるダウンストリームの圧力制御および真空封止用バルブ。高度なエッチングプロセスに最適。
-パーティクルフリーな動作で均等排気を可能にする -卓越した圧力制御の実績 -サービスポート装備（USBでPCとControl Performance Analyzer(CPA)ソフトウェアの接続用）
- 企業：VAT株式会社
- 価格：応相談
均等排気バルブ SERIES 67.0
均等なガスフローで高度なプロセスに最適
-パーティクルフリーな動作で均等排気を可能にする -卓越した圧力制御の実績 -サービスポート装備（USBでPCとControl Performance Analyzer (CPA)とソフトウェアの接続用）
- 企業：VAT株式会社
- 価格：応相談
バタフライコントロールバルブ≪ポジション制御用≫
シンプルなソリューションをお求めの方に！
-超高速動作 -ウィンドウズでのオペレーション可能な搭載型ソフトウェア -遠隔操作用アナログ/デジタルインターフェイス
- 企業：VAT株式会社
- 価格：応相談
コンボコントロールバルブ SERIES 95.1/95.2
優れた圧力制御能力を持ったコントロールバルブの組み合わせバルブ
Series 61.2 バタフライコントロールバルブとSeries 12.1 真空封止用ゲートバルブを1つのバルブボディ内に組み合わせたシステム。ゲートバルブはバタフライコントロールバルブのスレーブで、OEMインターフェイスに向いています。 Series 95.1: コントロールバルブとアングルバルブの組み合わせ。ベローズ軸シール付き。0.1MPaの差圧でバルブの開動作可能。 Series 95.2: コントロールバルブとゲートバルブの組み合わせ。O-リング軸シール付き。
- 企業：VAT株式会社
- 価格：応相談
