極めて短い制御応答時間、かつ、コンパクトなデザインで使いやすい
-優れた圧力制御能力 -リミットスイッチ付き -サービスポート装備（PC接続用またはサービスBOX接続用）
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基本情報
サイズ: DN63-400mm アクチュエータ: 搭載型コントローラ ボディ材質: ステンレススチール 軸シール: 回転軸シール 標準フランジ: ISO-F, CF-F, ASA-LP/ASA, JIS シール技術: VATLOCK リーク量: バルブボディ、バルブシート < 1 × 10-9 mbar ls-1 使用圧力範囲: DN63-200 1 × 10-8 mbar～2 bar (abs) DN250-400 1 × 10-8 mbar～1.2 bar (abs) ゲートにかけ得る許容最大差圧: バルブ閉の状態 DN63-200 ≤ 2 bar DN250-400 ≤ 1.2 bar 開/閉動作中 ≤ 30 mbar 第一回サービスまでのサイクル数: 圧力コントロール 百万回 閉/開 200,000 取付け方向: DN63-350 自由 DN400 水平 バルブの開閉位置表示: 目視位置表示付き（機械的およびコントローラに）
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用途／実績例
SEMI、FPD、産業分野の圧力制御および真空封止用バルブ。特にスパッタ・エッチングプロセスに最適。
ラインアップ（37）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| 64236-PEGG | DN63 ISO-F コントローラ搭載型 |
| 64238-PEGG | DN80 ISO-F コントローラ搭載型 |
| 64240-PEGG | DN100 ISO-F コントローラ搭載型 |
| 64244-PEGG | DN160 ISO-F コントローラ搭載型 |
| 64246-PEGG | DN200 ISO-F コントローラ搭載型 |
| 64248-PEGG | DN250 ISO-F コントローラ搭載型 |
| 64250-PEGG | DN320 ISO-F コントローラ搭載型 |
| 64252-PEGG | DN400 ISO-F コントローラ搭載型 |
| 64236-CEGG | DN63 CF-F metric threads コントローラ搭載型 |
| 64238-CEGG | DN80 CF-F metric threads コントローラ搭載型 |
| 64240-CEGG | DN100 CF-F metric threads コントローラ搭載型 |
| 64244-CEGG | DN160 CF-F metric threads コントローラ搭載型 |
| 64246-CEGG | DN200 CF-F metric threads コントローラ搭載型 |
| 64248-CEGG | DN250 CF-F metric threads コントローラ搭載型 |
| 64236-UEGG | DN63 CF-F UNF threads コントローラ搭載型 |
| 64238-UEGG | DN80 CF-F UNF threads コントローラ搭載型 |
| 64240-UEGG | DN100 CF-F UNF threads コントローラ搭載型 |
| 64244-UEGG | DN160 CF-F UNF threads コントローラ搭載型 |
| 64246-UEGG | DN200 CF-F UNF threads コントローラ搭載型 |
| 64248-UEGG | DN250 CF-F UNF threads コントローラ搭載型 |
| 64236-TEGG | DN63 ASA-LP/ASA コントローラ搭載型 |
| 64238-TEGG | DN80 ASA-LP/ASA コントローラ搭載型 |
| 64240-TEGG | DN100 ASA-LP/ASA コントローラ搭載型 |
| 64244-TEGG | DN160 ASA-LP/ASA コントローラ搭載型 |
| 64246-TEGG | DN200 ASA-LP/ASA コントローラ搭載型 |
| 64248-TEGG | DN250 ASA-LP/ASA コントローラ搭載型 |
| 64250-TEGG | DN320 ASA-LP/ASA コントローラ搭載型 |
| 64252-AEGG | DN400 ASA-LP/ASA コントローラ搭載型 |
| 64236-JEGG | DN63 JIS保守用フランジ コントローラ搭載型 |
| 64238-JEGG | DN80 JIS保守用フランジ コントローラ搭載型 |
| 64240-JEGG | DN100 JIS保守用フランジ コントローラ搭載型 |
| 64244-JEGG | DN160 JIS保守用フランジ コントローラ搭載型 |
| 64246-JEGG | DN200 JIS保守用フランジ コントローラ搭載型 |
| 64248-JEGG | DN250 JIS保守用フランジ コントローラ搭載型 |
| 64250-JEGG | DN320 JIS保守用フランジ コントローラ搭載型 |
| 64251-JEGG | DN350 JIS保守用フランジ コントローラ搭載型 |
| 64252-JEGG | DN400 JIS保守用フランジ コントローラ搭載型 |
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企業情報
半導体やディスプレイ、ソーラーパネルの製造や研究開発用途など真空を必要とする分野において、 最先端の研究開発および製造プロセス向けのミッションクリティカルなソリューションを提供するイノベーションパンパニーです。 イノベーションと卓越したエンジニアリングがVATのテクノロジーソリューションとサービスの原動力です。 VATが提供する製品やサービスは高度にカスタマイズされます。 これはお客様に妥協のないソリューションを提供するというVATの強い意志の表れです。 スイスで創業以来、過去60年にわたり、VATは日本を含むグローバルマーケットで真空バルブとその関連技術において 革新的なソリューションを開発、提供することで世界をリードする地位を築いてきました。