直線導入機（シャフト型） ZLDP/ZLDM/ZLDSシリーズ
真空チャンバー内での直線移動に使用する直線導入機です。
直線導入機（シャフト型） ZLDP/ZLDM/ZLDSシリーズは真空チャンバー内での直線移動に使用する直線導入機です。廉価版から高精度型まで種々取り揃えております。詳しくはお問い合わせください。
- 企業：丸菱実業株式会社
- 価格：応相談
バルブ(真空チャンバー) - メーカー・企業と製品の一覧
バルブの製品一覧
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直線導入機（中空型） ZLTMシリーズ
各種線源やトランスデューサなどを装着し真空中を移動させられます。
直線導入機（中空型） ZLTMシリーズはチャンバー取付けフランジとシステムフランジがベローズで接続された、中空型の直線導入機です。各種線源や、トランスデューサなどを装着し、真空中を移動させることができます。詳しくはお問い合わせください。
- 企業：丸菱実業株式会社
- 価格：応相談
高性能バリアブルリークバルブ ＺLVMシリーズ
バックラッシュを最小に抑え再現性よく高精密なガスコントロールを実現。
高性能バリアブルリークバルブ ＺLVMシリーズはガス源から真空チャンバー内にガスを導入する際に、微小なガスフローを制御するために使用します。バックラッシュを最小に抑え、ナイフエッジと銅合金パッドの材質・構造を工夫することにより、再現性よく、高精密なガスコントロールを実現しました。詳しくはお問い合わせください。
- 企業：丸菱実業株式会社
- 価格：応相談
