独立発泡ウレタンパッド
デバイスウェーハのCMPプロセスにおける業界標準品
当社では、デバイスCMPにおける業界標準のウレタンパッドを 取り扱っております。 特殊ポリウレタン材料をベースに、高均一な微小発泡を持つユニークな 構造はスラリーをうまく保持しながら、被加工物へ均等に行き渡らせ、 優れた加工均一性を発揮します。 また、高い段差緩和性能と低スクラッチ性能も実現します。 【ラインアップ】 ■各種基板の高平坦化に好適 ・IC1000(TM)単層パッド ■酸化膜CMPやメタルCMPに好適 ・IC1000(TM) SUBA(TM)積層パッド ・IC1400(TM)積層パッド ■VISIONPAD(TM) IC1000(TM)の次世代品 ・VISIONPAD(TM) 6000N積層パッド ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：アンカーテクノ株式会社
- 価格：応相談
