超微細加工LIGAプロセスによるメタルパーツ，ポリマーパーツ
アスペクト比100も可能。高精度･高アスペクト比のマイクロパーツ，サブマイクロパーツを提供。X線光学分野の応用多数。
LIGAプロセスは，高アスペクト比を持つ微細構造製造のための複合プロセスです。 X線リソグラフィと電鋳により，金属やポリマーの微細構造体を高精度，高アスペクト比(100程度)，滑らかな側壁(<50 nm)，自由な横方向形状を持つメタル構造，レジスト構造を実現します。 応用例 ･タルボ干渉計向けのX線回折格子 (日本を含め世界各国の研究所，産業界に導入) ･X線集光レンズ (放射光施設向け，単色光の集光レンズ) ･マイクロギア ･ハニカムメッシュ構造 ･微細貫通孔構造 (X線を始めとしたビームのアパーチャとして使用)
- 企業：株式会社ASICON
- 価格：応相談
