パワーデバイス評価用セミオートマチックプローバー AX-2500
縦型/横型構造パワーデバイスの電気特性評価に重点を置いた新型セミオートプローバー
8インチサイズウェハまで対応可能な高精度セミオートプローバーです。ローノイズ仕様により様々なアプリケーションに対応可能です。 自動測定に対応しております。
- 企業：ベクターセミコン株式会社
- 価格：応相談
プローバ×ベクターセミコン株式会社 - 企業1社の製品一覧
製品一覧
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チップサイズ～8インチウェハ対応マニュアルプローバー
チップサイズから8インチウェハまで対応したVectorスタンダードモデルです
チップサイズから8インチウェハまで対応したVectorスタンダードモデルです。高低温DC測定・高周波測定・高速IV／パルスIV測定などさまざまな測定ソリューションの構築が可能です。
- 企業：ベクターセミコン株式会社
- 価格：応相談
４インチウェハ対応マニュアルプローバー MX-400
最大4インチまでのウェハに対応
最大4インチまでのウェハに対応 高温チャック搭載 パワーデバイス評価にも対応可能
- 企業：ベクターセミコン株式会社
- 価格：応相談
セミオートプローバー『12インチウェハ セミオートシステム』
最大12インチウェハ対応！低コストで、非常に小さなエリアでの設置が可能
当製品は、最大12インチウェハ対応の、高性能セミオートプローバーです。 「TS3000-SE」は、微小電流測定やセミオート機では難しかった、1/f測定 などの様々な測定に対応しておりながら、低コストで導入可能な革新的 モデルです。 チラーユニットを含め、非常に小さなエリアでの設置が可能です。 【特長】 ■「TS3000」 ・プローブカードとポジショナーの同時設定が可能 ・不良解析や信頼性試験、RF測定、ロードプル測定などに好適 ・広い開口を保持しながら低温環境下での測定にも対応 ■「TS3000-SiPH」 ・シリコンフォトニクスデバイスの特性評価用に設計 ・高い柔軟性の高精度ファイバーアライメントシステム ・安全な動作が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：ベクターセミコン株式会社
- 価格：応相談
プローバー『フルオートシステム』
高い測定精度とオートメーション機能搭載！正確な校正が可能なプローバー
当社では、『フルオートシステム』を取り扱っています。 「TS2500-RF」は、オンウェハRF測定のために設計された 新型フルオートプローブシステムです。 最大200mmサイズウェハに対応しており、室温から最大300℃の温度範囲で 低ノイズ、低リーク測定が可能です。 この他に、12インチウェハ対応の「TS3500/TS3500-SE」もご用意しております。 【特長】 ＜TS2500-RF＞ ■67GHzまでのプローブを4port搭載可能 ■DC-IV/DC-CV/Pulsed-IVなど様々な測定にも対応 ■最小50umまでのウェハを取り扱うことが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：ベクターセミコン株式会社
- 価格：応相談
プローバー VX-3000SV
ユーザーのあらゆる要望にも簡単に対応できます。
国内メーカーで初めて製品化した１２“ウェハー対応セミオートプローバーです。
- 企業：ベクターセミコン株式会社
- 価格：応相談
パワーデバイス評価用プローバー
コストパフォーマンスに優れ、安全面にも考慮したハイパワー測定システム
当社では、『パワーデバイス評価用プローバー』を取り扱っています。 「TS150-HP/TS200-HP」は、10kV耐圧測定・250A（パルス）電流測定など、 パワーデバイス測定に特化したマニュアルプローバーです。 最大10kV耐圧仕様の300℃サーマルチャックシステムを搭載できます。 この他に、コストパフォーマンスに優れた「TS2000-DP」や、安全機構を 搭載した「TS2000-HP」もご用意しております。 【特長】 ■パワーデバイス測定に特化したマニュアルプローバー ■チップサイズから最大6インチウェハサイズまで対応（TS150-HP） ■チップサイズから最大8インチウェハサイズまで対応（TS200-HP） ■安全を考慮した測定環境を構築可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：ベクターセミコン株式会社
- 価格：応相談
