ターボポンプ『STP-iXU457』
ポンプの揺れを検知し、瞬時に自動で磁気軸受剛性を切替!
『STP-iXU457』は、超低振動性能とMB剛性性能向上の両立を達成し、コントロール ユニットの小型化を図り、コンパクトにポンプ下に搭載したコントローラ 一体型ターボ分子ポンプです。 1KHzから2KHzでの周波数帯の最大振動ピークを抑制、また、ピーク振動のみ でなくベース振動の低減を図っています。 【特長】 ■低振動(1kHz~2kHz間の振動ピークを抑制) ■磁気軸受/自動剛性切替機能 ■供給電源 DC24V ■オプション電源でAC100-200Vも利用可能 ■各種規格に対応:CEマーク、UL規格、SEMI S2、欧州RoHS指令 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業:エドワーズ株式会社
- 価格:応相談