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ケミカル用途のクロータイプのドライポンプであり、プロセスガスの局所的な凝縮と微粒子の蓄積を最小化します。
ドライポンプEDPシリーズは、主にケミカル業界および製薬業界での蒸留や乾燥プロセスにて使用頂いているポンプです。 非接触でそれぞれ逆回転するクローローターとポンプ垂直機構を採用しており、ポンプ内のプロセスガスの局所的な凝縮と微粒子の蓄積を最小化します。 排気速度は、80m3/h、160m3/h、250m3/h、および400m3/hの4種類で、到達圧力は20～50Paです。 その他、トルクリミッタ、ラビリンスシール、PTFEリップシール、熱交換器が採用されています。 防爆対応のポンプであり、外部独立機関により耐爆性試験済みで欧州防爆基準のATEXに準拠しております。 日本国内では、日本防爆モーターの後付けが可能です。
最先端技術を用いて信頼性の高い、ハイドロカーボンの無い高/超高真空を実現するターボ分子ポンプ
nEXTターボ分子／複合分子ポンプおよびEXCコントローラは、最先端技術を用いて信頼性の高い、ハイドロカーボンの無い高／超高真空を実現します。 ターボ分子ポンプ(TMP)は、マルチステージの軸流タービンであり、高速回転するブレードが排気方向へ移動するガス分子の確率を高めることによって圧縮をもたらします。 複合分子ポンプ(CMP)は、ブレードが付属するターボ分子ステージと分子ドラッグステージを同一ロータ上で合体させるというコンセプトを基礎にしています。 【特長】 [ターボ分子ポンプ] ○分子の流れ状態に合わせて最適化される [複合分子ポンプ] ○フォアラインの高臨界圧（標準で最大1、000Pa） ○より小型の背圧ポンプまたはダイヤフラムポンプの使用が可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
工場の集中排気など、ユーティリティ用途でお使い頂ける、コントローラ・インバーターを標準搭載した真空ポンプです。
EOSiシリーズは、省エネ設計が施されたオイルスクリュー真空ポンプです。 集中排気/ 樹脂成型 / 乾燥 / 化学 / 真空蒸着 / 真空ろ過 / 真空搬送 / 食品乾燥などの用途でご使用頂けます。 インバーターによるモーターの回転数制御と、インレットバルブによる大気圧近くの排気速度の制御により、省エネ運転を実現しており、一般的な直動型モーターの真空ポンプと比較し、20～50%近くの消費電力を削減出来た事例もございます。 【製品特長】 ■真空需要に応じた性能の自動制御 ■静音運転 ■簡単設置 ■現場メンテナンスでダウンタイム削減に貢献 ■独自測定ツールによる省エネ診断ができる ■複数台稼働における台数制御が可能 ■工場の集中排気に適している ご検討の際には、当社の測定ツールを使った無償の「省エネ効果シミュレーション」をお勧めいたします。 近年の環境に配慮した経営が求められる中、国内の納入実績が増えてきております。 ぜひお気軽にご相談ください。
省エネルギーかつコンパクトなデザインを実現。磁気軸受式ターボポンプ
『STP-iS2207』は、産業をリードする性能を備え、省エネルギー技術を一体型 プラットフォームに搭載した、完全一体型磁気軸受式ターボポンプです。 新規ローター設計によりプラットフォームの小型化に成功し、省エネルギー かつコンパクトなデザインを実現しました。 また、腐食性ガスにも対応可能です。 【特長】 ■完全一体型設計 ■防水・防塵に配慮した設計 ■冷却水温度35度まで対応 ■最大流量：3200 sccm N2/ 1000 sccm Ar ■省エネルギー設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
磁気軸受ユニットを新規設計・低振動化を実現！
『STP-iX457シリーズ』は、コントロールユニットの小型化を図り、コンパクト にポンプ下に搭載した、コントローラ一体型ターボ分子ポンプです。 超小型電子部品を採用し、コントロールユニットの高さ寸法をコンパクトに収め、 ポンプ下に配置しました。既存モデルではポンプ横についていたコントロール ユニットをポンプ下に置くことでインストール性が格段に向上し、ポンプ重心の 不均衡が解消されました。 【特長】 ■インストール性・省スペースを重視した設計 ■最大消費電力 240W(既存製品から20％削減を実現) ■供給電源 DC24V ■全翼ブレード設計による優れた軽ガス圧縮比性能 ■各種規格に対応:CEマーク、UL規格、SEMI S2、欧州RoHS指令 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ポンプの揺れを検知し、瞬時に自動で磁気軸受剛性を切替！
『STP-iXU457』は、超低振動性能とMB剛性性能向上の両立を達成し、コントロール ユニットの小型化を図り、コンパクトにポンプ下に搭載したコントローラ 一体型ターボ分子ポンプです。 １KHzから2KHzでの周波数帯の最大振動ピークを抑制、また、ピーク振動のみ でなくベース振動の低減を図っています。 【特長】 ■低振動(1kHz～2kHz間の振動ピークを抑制) ■磁気軸受/自動剛性切替機能 ■供給電源 DC24V ■オプション電源でAC100-200Vも利用可能 ■各種規格に対応:CEマーク、UL規格、SEMI S2、欧州RoHS指令 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
性能を高め、寿命を延ばし、エネルギーを節約する真空オイルの選択
『Ultragrade』は、オイルシール式真空ポンプの潤滑剤として使用する場合 に大きなメリットが得られるよう設計された、無色無臭のオイルです。 特殊な調合により、真空性能を損なうことなく、腐食および摩耗を抑え、 さらに高い真空度で機能するとともにその真空度を実現する特別な潤滑が可能 になります。 【ラインアップ】 ■Ultragrade15 小型ポンプまたはコールドスタート用途に ■Ultragrade19 ロータリベーンポンプ用の最も一般的なオイル ■Ultragrade20 粘度を高めたオイルで良好な蒸気圧を確保 ■Ultragrade70 中/高粘度オイル ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
クラス最高レベルの排気速度！設置面積がコンパクトなターボ分子ポンプをご紹介
『nEXT730/nEXT930』は、窒素の排気速度がそれぞれ700l/sと900l/sを 超える大型ポンプです。 高速回転が要求される一般R&D市場への対応はもとより、コーティング市場、 熱処理、炉用途、電子ビーム溶接、エッチング、イオン注入、脱ガス、 シリンダ排気などの市場要件も満たすように設計。 OEMのお客様には、既存の小型nEXTと同様にスプリットフロータイプの開発 ならびに特殊仕様への変更も可能です。 【特長】 ■クラス最高レベルの排気速度 ■優れた圧縮比 ■統合と取り付けが容易 ■信頼性を確保 ■エンドユーザー自身でサービスが可能 ■nEXTの定評ある通信インタフェース ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
オイルフリーおよびメンテナンスフリーの柔軟な設計！省エネ運用でコスト削減！
『nXRi』は、コンパクトな設置面積で30～120ｍ3/hの排気速度性能を 実現するドライ真空ポンプです。 低電力で動作し、メンテナンスフリーの設計により、最大稼働時間と メンテナンスコストの削減が保証されます。 また、分析機器や真空システムへの統合がしやすいため、質量分析、 電子顕微鏡、リーク検出に好適。すぐに使用できる真空ソリューション が実現します。 【特長】 ■コンパクトな設置面積でスペースを最適化 ■ハイパフォーマンスなポンプが必要なときに好適 ■省エネ運用でコスト削減 ■完全オイルフリーかつダストフリー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
工業用真空ポンプシステムを多数掲載！お客様のニーズを満たすソリューションをご提供いたします。
当カタログは、当社が取り扱う産業分野向けの真空ポンプをご紹介しています。 ドライポンプとオイルシールポンプの両方を幅広く取り揃えており、 経済的で環境に配慮したプロセスを実現するお役立ちいたします。 コーティングから乾燥、冶金からリチウムイオン電池の製造にいたるまで、お客様のニーズを満たすソリューションをご提供いたします。 【掲載製品（抜粋）】 ■ドライ真空ポンプ GXS ■ドライ真空ポンプ EDS ■セントラルバキューム用ポンプ EOSi ■ドライ真空ポンプ EDC ■化学プロセス用ドライ真空ポンプ EDP ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
エドワーズは、真空蒸着、スパッタリング、CVD、プラズマ重合等、多くの薄膜工程で豊富な経験がございます。
当カタログは、コーティングプロセスに関連する真空ソリューションをご紹介しています。 コーティングプロセスでは、様々な用途向けに金属、無機化合物、有機化合物を堆積させ、薄膜を形成するプロセスです。 真空ポンプは、プロセス中の不純物の混入防止、成膜速度の向上、プラズマ発生用途として使われています。 エドワーズは、これまでの設置実績に基づくアプリケーションのノウハウとプロセスへの豊富な知識により、パッケージソリューションをご提供いたします。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
鉄鋼の脱ガス工程に関連する真空ソリューションをご紹介しています。
真空脱ガス（VD）と真空酸素脱炭（VOD）は、特殊合金鋼の生産によく使われるプロセスです。 これらは、鉄鋼の二次精錬工程において、水素や炭素などの不純物の度合いをを低減するために使用されています。 エドワーズが持つ真空ポンプを中心にソリューションをご紹介しております。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
一般産業向けのハイエンドレンジの真空ポンプであり、信頼性の高いパフォーマンスを発揮します。
GXSシリーズは、スクリュータイプの真空ポンプであり、一般産業向けに多くの納入実績がある製品です。 コントローラ、インバーターを標準搭載しており、オプション選択により外部システムとの通信が可能となります。 パージ機能を有しており、シャフトパージに対応、ポンプ内部を洗浄・フラッシングする機能（オプション）もあり、幅広い用途・プロセスに対応できるのが特長です。 排気速度に応じて、メカニカルブースター付属仕様（ケーシング内にポンプと一緒に収まる）も選択頂けます。 ＜特長＞ ・コントロールパネルを標準装備 リモート/ローカルON/OFFやアラーム・ワーニングを表示 ・ 高い信頼性と優れた排気速度 エドワーズ独自のスクリューローター（特許取得）を採用 優れた温度制御システムの採用で高速排気とロングライフを実現 ・到達圧力 1Pa（ポンプ単体）、0.1Pa（ポンプ＋メカニカルブースター） ※製品詳細は［PDFダウンロード］からカタログ資料をご覧いただくか、お気軽に［お問い合わせ］ください。
コストパフォーマンスに優れた1段式のロータリベーンポンプです。
エドワーズ nESシリーズは、排気フィルタ内蔵のコストパフォーマンスに優れたオイルポンプです。 熱処理、乾燥、コーティング、滅菌、油・樹脂脱気、食品加工、リーク検出、真空断熱、シリンダ充填など様々な製造業に関わる用途で使われています。 ＜nESポンプ仕様＞ ・排気速度：40～750m3/hr（9つの機種） ・到達圧力：6～50Pa（ガスバラストオフ）、70～150Pa（ガスバラストオン） ・空冷タイプ、鉱物油仕様 ・電源：50Hz 200-240V/380-415V, 60Hz 200-230V/380-400V ・駆動方式：モータ直結(nES40～300)、ベルト(nES470～750) ・中国天津工場製 nESシリーズは、メカニカルブースターEHとの接続が可能です。 組み合わせることでポンプの排気速度と到達圧力を向上させます。 ※製品詳細は［PDFダウンロード］からカタログ資料をご覧いただくか、お気軽に［お問い合わせ］ください。
世界でも多くの導入実績があるエドワーズの水封式ポンプをご紹介いたします。
水封式ポンプは、以下のような特徴がございます。 ・水、油、薬品類の蒸気や液体を含んだガスの排気に適している ・ダスト、粉体を吸い込んだとしても、ポンプ構造がシンプルな為、トラブルが起きにくい ・真空室内に摺動部が無く潤滑が不要、また排気弁が不要 エドワーズの水封式ポンプは、シングルステージタイプとダブルステージタイプがあり、使用環境に合わせて、 最適な構造材料(ステンレス鋼、アルミニウム青銅、二相ステンレス鋼、ハステロイ、耐食性材料等)を組み合わせてご提案しております。 排気速度は、シングルステージのLRシリーズで最大48,000 m³/h、ダブルステージのHRシリーズで最大7,500 m³/h となります。 化学・製薬および石油化学アプリケーション、空冷コンデンサ排気、排煙脱硫、真空滅菌、海水脱気、食品加工、鉄鋼脱気工程で採用頂いております。 ＜蒸気エジェクタ＞ 要求される到達真空圧や条件によって、水蒸気を使用したエジェクタポンプと水封式ポンプを組み合わせたパッケージ提案も行っております。
