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小型、軽量設計により機器内蔵が容易で、ガス分析のサンプリング用として最適です。
独自設計により長寿命、全体の気密性も高く設計されています。 接ガス(液)部はフッ素樹脂、ステンレスの構造となり、耐食性が必要な環境下でも使用可能です。 吸排気口(IN/OUT)はチューブ接続となっており、くい込み式の継手にも対応可能です。(ねじ込み式の継手も対応可) 振動低減仕様、高温仕様、防爆型仕様を追加。 気液混合流体にも対応し、液体用(自吸式)としても使用可能です。 様々な要求仕様や用途に合わせ設計、製造が可能です。 例)気密性を向上させたハイエンドモデル対応 二重ダイアフラム構造による外部へのリークをシャットオフ CE/UL/特殊モータ等の搭載、液体仕様による脈動低減 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 また、流量・圧力をもっと上げたい、こんな仕様で対応できないか等、 弊社では様々な対応を実施しているので、ご要望がございましたらお気軽にお問い合わせ下さい。
中型機種になり吐出圧・流量とも用途幅の広いシリーズ。半導体プロセスガス、ヘリウム3等の循環用途で実績があります。
メタルベローズポンプは、フレキシブルなステンレス製ベローズダイヤフラムの 特徴を生かした容積式ポンプです。 ガス用の真空ポンプ、昇圧コンプレッサーとして使用することができます。 【特長】 ■優れた気密性 リークタイト 1.0x10E-7 ～1.0x10E-9 std.cc/sec (He) ■コンタミネーション無し 構造上磨耗部が無く、流体ガスへのコンタミネーションがない ■高い耐食性 接ガス部は300シリーズステンレスを使用しバルブのガスケットにはテフロン 又はバイトンが使用。オプションでアルミＯリングガスケットを選定すると、 接ガス部をALLメタル構造にすることができる ■長寿命 運動部分のベローズとバルブは使用される材質の耐久限界以下応力レベルで 設計、製作されているため、無限に近い運動サイクルに耐える事が出来る ※仕様詳細、技術資料は『総合カタログ』でご確認下さい。
【気体用・液体用(OP)】耐腐食 × 高温対応！標準で備える、安心のポンプ。
ACモータ/DCモータ ■標準仕様で耐腐食性能を向上 ■150℃までの高温ガスで使用可 ■DCモータではブラシレスモータを搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【液体用】洗浄液、プリンタインク等の腐食性流体の移送用途に好適！液体仕様のダイアフラムポンプ
DCモータ ■腐食性流体（洗浄液、プリンタインク等）の移送用途に最適 ■ブラシレスモータを搭載、標準機能として可変速運転が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【気体用】標準仕様で、腐食対策は万全！DCモータは可変速運転・アラーム出力も可能です。
ACモータ/DCモータ ■標準仕様で耐腐食性能を向上 ■DCモータはブラシレスモータを搭載、標準機能として可変速運転、アラーム出力が可能 ■オプションでねじ込み接続を追加 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【液体用】小型、ダイアフラム多連式で脈動を大幅に低減！可変速も、異常検知も、標準装備。スマートポンプの新基準。
ACモータ/DCモータ ■DCモータではブラシレスモータを搭載、標準機能として可変速運転、アラーム出力が可能 ■脈動・振動・騒音低減 ■自吸式：3ｍ(吸込揚程) ■耐食性の高い材質 ■可変速機能(標準搭載) ■アラーム検出機能(標準搭載) ■オプション対応 ・接続位置（向き）を90°、180°に変更可能 ・ACモータ（単相・三相） ・圧力スイッチ、リリーフバルブ内蔵型、外部ボリューム調整ユニット付 など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
フレキシブルなステンレス製ベローズダイアフラムの特長を生かした容積式ポンプです。 ガス用の真空ポンプ、昇圧コンプレッサに。
・優れた気密性 溶接ベローズと密閉されたハウジングの構造により、非常に気密性の高い状態で吸込、吐出が可能です。 ヘリウムリークタイト：1×10（-6）～1×10（-10）Pa・立方メートル/sec ・コンタミネーションが無い 接ガス部であるベローズとリードバルブには構造的摩耗部が無く、流体ガスへのコンタミネーションがありません。 ・耐食性が高い 接ガス部の材質は劣化、腐食に強い300シリーズステンレスが使用されています。 バルブのガスケットにはテフロン、またはバイトンガスケットが使用されており、 オプションでアルミOリング（ガスケット）を選定すると、接ガス部を全てメタル構造にすることができます。 ・寿命が長い 運動部分のベローズとバルブは使用される材質の耐久限界以下の応力レベルで設計、 製造されているため、無限に近い運転サイクルに耐えることが出来ます。また、航空宇宙や原子力機器レベルの品質管理要求に対応する占有の製造設備、統一された溶接工程、溶接技術によって、信頼性、安定性の高い高性能な製品の性能を保証する事ができます。 ※特殊仕様対応も可能です。
【気体用】高気密 × 高耐腐食 × 高温対応。標準仕様で高性能を実現しました！
DCモータ ■気密性が高く、気体の移送や循環に最適 ■標準仕様で耐腐食性を向上、180℃までの高温ガスで使用可 ■ブラシレスモータを搭載、標準機能として可変速運転、アラーム出力が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【気体用】高気密設計で、気体の流れを完璧に！気体の移送や循環に最適です。
ACモータ ■気密性が高く、気体の移送や循環に最適 ■標準仕様で耐腐食性を向上、180℃までの高温ガスで使用可 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
