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高真空度が必要とされる場合に採用される真空ポンプのご案内です。
高真空度が必要とされる場合に採用される真空ポンプで、10-5Pa が安価に得られます。熱せられた拡散オイルがノズルから噴射されることにより発生する超音速のジェット噴流によって、高真空域まで排気します。単独運転はできず、油回転真空ポンプをバックポンプとして、組合せて使 用します。なお、組合せて排気セットとした製品は「高真空排気装置」として掲載しておりますので、ご参照ください。
抜群の耐食性と扱いやすさ
真空室内にテフロン系部品を採用しており、有機溶媒系ガや腐食性ガスの吸引などに、抜群の耐食性を発揮します。
耐久性の高いキニー型真空ポンプ
このKS シリーズは、キニー式の揺動ピストン型油回転真空ポンプで、ベルト駆動方式です。特に大型の真空ポンプに適した方式であり、当社では700 〜15000L/min まで9 機種をシリーズ化しております。同時にその堅牢な構造により、高耐久ポンプとの定評を得ており、耐久力を要求される各種真空炉などのメインポンプとして、数多く採用されております。
豊富な実績に裏打ちされた直結ポンプのスタンダード
排気速度50～1300（60～1500）L/minまで7機種のラインナップがあり、お客様の用途・環境に合った最適な機器の選択が可能です。（60Hz）
お客様の用途・環境に合った最適な機器の選択が可能です。
すべてにグレードアップした新世代の直結 ”ニュー・ディグニティー（高品位）Λ（ラムダ）シリーズ
油ではなく水により、真空シール、回転部の潤滑、摺動部の冷却をおこないます。
水封式ポンプは、円形ケーシングと羽根車により本体を構成し、羽根車はケーシングと偏心した位置に取付けられています。ケーシング内に適当量封水を入れて羽根車を回転させますと、図のように、質量の大きい封水は、遠心力によってケーシング内壁に沿って同心のリング状になります。羽根車が回転することにより、この封水リングの内壁と羽根車の羽根によって囲まれた空間の容積が変化することを利用して、側壁または羽根車の内壁に設けられている吸・排気口を通して、吸入・圧縮・排気の作用を連続的に行います。さらに、高速回転により能率的に排気します。また封水は、吸気された気体が必ず排気されるように、シールの役目をしています。
