ニップルNEGポンプ
超高・極高真空の発生はNEGの時代！ビームを通せるNEGポンプ
『ニップルNEGポンプ』は、チャンバーの壁にピル状（φ10×t3）NEGを タイルの様に貼りめぐらした新しいタイプのNEGポンプです。 チャンバー内のデッドスペースにシュラウド形を配置すれば、システムは 極高真空環境に早変わりします。 また、1000L/sを超える設計が容易なほか、ステンレス真空チャンバーに 対応することができます。 【特長】 ■無振動、無電力、無荷電粒子ノイズ ■自由設計、取付方向自由 ■NEG：St707タイプZrVFe合金 ■ピル状NEGを二重金網中に積層 ■10^-10Pa以下のXHV発生が容易 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ヤチダ
- 価格：応相談
