エドワーズ社ターボ分子ポンプ
オイルフリーのコンパクトなターボ分子ポンプです。
セラミックベアリング型の高信頼性ポンプです。 客先にてベアリング軸受けの交換も可能です。
- 企業:丸菱実業株式会社
- 価格:50万円 ~ 100万円
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オイルフリーのコンパクトなターボ分子ポンプです。
セラミックベアリング型の高信頼性ポンプです。 客先にてベアリング軸受けの交換も可能です。
オイルフリー・メンテナンスフリーのコンパクトなターボ分子ポンプです。
セラミックベアリング型の高信頼性ポンプです。 ローターステージとドラッグステージにより、N2はもちろん、H2の 圧縮比・排気速度・スループットが大きい設計になっています。 コントローラは、装置組込み用廉価版コントローラと、ラック型 コントローラがあります。
全翼回転翼を搭載した超高真空対応。電子顕微鏡検査と半導体アプリケーション用。
「磁気浮上型ターボ分子ポンプ STP-451」は、電子顕微鏡検査と半導体アプリケーション用です。 業界トップクラスの性能と最大限のプロセス柔軟性を実現! 科学機器、半導体、磁気媒体業界の主要機器メーカーに採用され、 高い信頼性を認められています。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
長時間の安定稼働、ハイドロカーボンを使用しないクリーンな排気。電子顕微鏡検査と半導体アプリケーション用に最適。
「磁気浮上型ターボ分子ポンプ STP-301」は、ミニマムメンテナンス、及び低振動が要求されるアプリケーションに最適です。 業界トップクラスの性能と最大限のプロセス柔軟性を実現! 科学機器、半導体、磁気媒体業界の主要機器メーカーに採用され、 高い信頼性を認められています。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
アジレント社中型 ターボ分子ポンプです。 ワイヤレス通信で動作設定・モニタリングが可能。 かつてない低振動を実現しました。
アジレント社製 305シリーズターボ分子ポンプはオイルフリー、取り付け位置自由な中型ターボ分子ポンプです。軸受けはセラミックベアリングを使用しているのでクリーンな真空を得ることができます。 アジレント社独自のTwisTorrドラッグステージ技術により、水素やヘリウムなどの軽い気体に対して高い圧縮率を持ち、高スループット・高フォアライン耐圧を実現しました。 またワイヤレス通信にてお使いのスマホより動作設定・モニタリングが可能。 業界最小ノイズ(41dB)のポンプです。
大排気量・高真空用の真空ポンプのご紹介です。
アジレント社製油拡散ポンプは、大排気量・大流量に適した 安価な高真空用ポンプです。 ガス種によらず、連続で安定した排気が行えます。 フランジ口径 2インチ~ 35インチまで、各種取り揃えております。
オイルフリー、取り付け位置自由の高圧縮小型ターボ分子ポンプです。
アジレント社製 74FSはオイルフリー、取り付け位置自由な小型ターボ分子ポンプです。軸受けはセラミックベアリングを使用しているのでクリーンな真空を得ることができます。 アジレント社独自のTwisTorrドラッグステージ技術により、水素やヘリウムなどの軽い気体に対して高い圧縮率を持ち、高スループット・高フォアライン耐圧を実現しました。