PLマッピング 装置 YWafer Mapper RD8
カスタマイズ可 波長範囲: 200nm - 5nu 対応 ウェーハ マッピング装置 ウェハ PL フォトルミネッセンス 多機能
RD8シリーズ ウェーハ マッピング装置 RD8シリーズは最大測定面積 200×200 mm までの様々なウェーハサイズや形状に対応した装置です。基本測定にはフォトルミネッセンス、エピタキシャル膜厚、ウェーハ反り、透過率・反射率、裏面照射蛍光体分析、ウェーハ板厚の測定が含まれております。 お客様のご要望に合わせて個別対応もさせていただきます。
- 企業：有限会社ワイ・システムズ
- 価格：1000万円 ~ 5000万円
