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1ポイント1秒測定＆測定エリア最小3μｍ！高性能で使いやすい顕微分光膜厚計
顕微分光を用いた微小領域での絶対反射率測定により、高精度な膜厚測定と光学定数解析が可能な装置です。 各種フィルムやウェーハ、光学材料などのコーティング膜の厚みや多層膜を非破壊・非接触で測定できます。 測定時間は1秒/pointの高速測定が可能で初めての方でも簡単に光学定数の解析ができるソフトウェアを搭載しています。 膜厚計のお悩みを「OPTMシリーズ」1台で完全解決します！ 【特長】 ■膜厚測定に必要な機能をヘッド部に集約 ■顕微分光で高精度な絶対反射率測定（多層膜厚、光学定数） ■1ポイント1秒以内の高速測定 ■顕微下で広い測定波長範囲を実現する光学系（紫外～近赤外） ■エリアセンサーによる安全機構 ■初めての方でも光学定数解析が可能な楽々解析ウイザード ■測定シーケンスをカスタマイズ可能なマクロ機能搭載 ■複雑な光学定数も解析可能（複数点解析法） ■300mmステージ対応可能 ■各種カスタマイズに対応 など
反射分光法と他の測定手法の比較
反射分光法は他の膜厚測定方法と比較して、薄膜対応、測定時間、非接触性、前処理や検量線不要、多層膜対応、光学定数解析などの点でメリットがございます。 一度お試し測定をしてみてはいかがでしょうか？
広ダイナミックレンジ！高速・高再現性、軽量・コンパクトが特長的
MCPD seriesは、紫外から近赤外領域対応の多機能マルチチャンネル 分光検出器です。 最短5msで分光スペクトル測定ができ、標準装置のオプティカルファイバー により、サンプル種を特定することなく、さまざまな測定系に対応。 また、顕微分光、光源発光、透過・反射測定をはじめ、ソフトウェアとの 組み合わせにより、物体色評価、膜厚測定などにも対応可能です。 【特長】 ■広いダイナミックレンジを有し、全光測定に好適 ■低迷光機能搭載により、UV評価に好適 ■最短5msecから65secまでの露光時間、微弱光測定、高速測定、 インライン測定など、幅広い測定に好適 ■スクランブルファイバーの採用により、高再現性を実現 ■軽量・コンパクトな縦置きタイプ ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
