低角度X線分光法『LAXS』
リアルタイムでの薄膜組成の情報を得ることが可能！プロセスモニタリングのための診断ツール
『Low Angle X-ray Spectroscopy(LAXS)』は、低角度X線分光法です。 PLD/PEDシステムに対してin-situにおけるリアルタイムでの プロセスモニタリングのための診断ツールを提供。 RHEEDの補完的ツールでリアルタイムでの薄膜組成の情報を 得ることができます。 【特長】 ■RHEEDの補完的ツールでリアルタイムでの 薄膜組成の情報を得ることが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ハイテック・システムズ
- 価格：応相談
