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磁気抵抗素子の特性は、各種分析手法を組み合わせで解析することが重要！
当社で行う「磁性金属多層膜の組成・状態分析」についてご紹介します。 GMR素子やMTJ素子(磁性金属多層膜を含むスピントロニクス素子)は、 HDD装置の磁気ヘッドやMRAMへの実用化が進んでいます。 このような磁気抵抗素子の特性は、構造や界面により大きく変化するため、 それら挙動を各種分析手法を組み合わせで解析することが重要です。 【界面の状態解析】 ■XPS ■HAXPES ■TEM-EELS ■3DAP(APT) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
二次電池の充放電過程における正極/負極材料の粒径・ひずみ量評価などの用途に！
当社で行う「リートベルト解析によるX線回折データの定量分析」 についてご紹介いたします。 X線回折データにリートベルト解析を適用することにより、標準試料を 必要とせずに、試料に含まれる結晶相の質量分率、結晶子サイズ、 均一ひずみの定量が可能です。 ご用命の際は、当社までお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■標準試料を必要とせずに、試料に含まれる結晶相の質量分率、 結晶子サイズ、均一ひずみの定量が可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
裏面研磨技術を用いたXPS分析(Backside XPS)についてご紹介！
当社で行う「ゲート電極/酸化膜界面の不純物分析」についてご紹介します。 ゲート電極/ゲート絶縁膜界面の不純物の分布や結合状態などを調べるためには 1nm以下の深さ方向分解能が必要。このような場合、裏面(ゲート絶縁膜側) からの測定を行うことで、より信頼性の高い解析が可能になります。 XPSの検出深さは数nm以下と浅いので、Si基板部分を裏面から研磨やウェット エッチングにより除去してXPS測定を行います。 【得られる情報】 ■ゲート電極/ゲート酸化膜界面近傍の不純物の分布・結合状態 ■ゲート電極/ゲート酸化膜界面近傍の組成変化 ■バンドアライメントなど ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
