枚葉スピン剥離装置 WSR-200CBT/WSR-300CBT
装置寸法:1200W×1100D×2000H (200CBT)/1500W×1100D×2000H (300CBT)
基板をマニュアルでチャックにセットし、剥離処理、リンス、スピン乾燥します。
- 企業:株式会社カナメックス 厚木工場
- 価格:応相談
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装置寸法:1200W×1100D×2000H (200CBT)/1500W×1100D×2000H (300CBT)
基板をマニュアルでチャックにセットし、剥離処理、リンス、スピン乾燥します。
本体側面に薬液供給タンク又は廃液タンク(20L)を2本内蔵可能
カセットをローダーにセットし、クリーンロボットにて基板の搬送を行い、剥離処理、リンス、スピン乾燥する枚葉自動スピン剥離装置です。