卓上CMP実験機『BC-15』
CMP部材開発、研究開発に最適！研究開発を身近に出来る卓上型CMP実験装置です。
【製品PR】 ケメット・ジャパンの「BC-15」は、CMP部材開発や部材スクリーニング、デバイス開発など幅広くご活用頂ける卓上実験装置です。 定盤径は15インチで、定盤回転数は5～100RPMです。 最大加工物径はφ152mmです。 チップサイズ～φ6インチのウエハサイズまで対応可能です。 【特徴】 ◆ベースプレートの裏面がマグネットのため、着脱が容易です。 ◆タッチパネルが搭載されています。 ◆自動運転が可能で、セットしたらスタートを押すだけで加工可能です。
- 企業：北川グレステック株式会社 本社
- 価格：応相談
