更新日： 集計期間:2025年07月30日～2025年08月26日
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平面形状測定用 反射・透過波面測定！サブナノメートルレベルの位相測定を行える
『OptoFlat』は、低コヒーレンス干渉原理を使用し、平面形状を簡単に 測定することが可能なInterOptics社製の干渉計です。 小型かつ安定した機械設計でありながら、従来の干渉計と比較して低価格。 高出力LED光源で使用することにより、レーザースペックル干渉や 光学系内部干渉が発生せずクリアな干渉縞が生成される、 サブナノメートルレベルの位相測定を行うことができます。 【特長】 ■低コヒーレンス干渉原理を使用 ■平面形状を簡単に測定することが可能 ■小型かつ安定した機械設計 ■従来の干渉計と比較して低価格 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
広域の表面形状観察が可能
走査型白色干渉計（光干渉計）は、試料の表面形状を「高い垂直(Z)分解能(0.1nm)と広い(X-Y)測定視野(50μm～4.2mm)」で高精度に、非接触3次元測定を行うことが可能です。4.2mm×4.2mmの視野まで測定可能です。
ガラス、プラスチック、金属などの球面形状測定に最適
測定物に合わせたΦ60の参照レンズを使用することで、多種多様な球面形状を把握することが可能です。
高い垂直方向分解能で小さな凹凸を可視化可能
走査型白色干渉計（光干渉計）は、試料の表面形状を「高い垂直(Z)分解能(0.1nm)と広い(X-Y)測定視野(50μm～4.2mm)」で、高精度に非接触3次元測定を行うことが可能です。Si/SiGe積層試料表面（クロスハッチパターン）の形状観察の事例を紹介します。 平均粗さ(Ra)～1nmの形状評価可能です。
ガラス、プラスチック、金属などの球面形状測定に最適
測定物に合わせたΦ60の参照レンズを使用することで球面形状を把握することが可能です。
ガラス、プラスチック、金属などの平面形状測定に最適
小口径から大口径の研磨面をλ/20の高精度で測定評価が可能です。
ガラス・プラスチック、金属などの平面/球面形状測定に最適
小口径の研磨面をλ/20の高精度で測定評価が可能です。
ガラス、プラスチック、金属などの平面/球面形状測定に最適
小口径から大口径の研磨面をλ/20の高精度で測定評価が可能です。
大口径や長焦点光学系の計測に必須の除震台が、不要化もしくは小型化ができるリアルタイムダイナミック干渉計です。
超高速の干渉計測を行うため、震動/振動や空気ゆらぎ(Air turbulence)の影響を最小化、リアルタイムでの波面計測が可能。Twymann=Green干渉法を用いた計測なので、大口径光学系でも同程度の大きさのFizeau面は不要。Diverging lens(発散レンズ)を用いて、様々な拡張測定が可能。
光沢紙程度の反射で干渉縞が出現！干渉縞で50mmの変化をとらえる干渉計
当製品は、レーザ走査を用いた干渉計です。 光沢紙程度の反射で干渉縞が出現。干渉縞で50mmの変化をとらえます。 サンプルをガラス面に置けば、簡単に干渉縞が見える倒立型の「LSMi-7000」 をはじめ、円筒用の「LSMi-7500」や正立型の「LSMi-8000」をラインアップ。 この他にも、5×50mmの範囲を3D形状計測できる超広視野共焦点型レーザ 走査イメージャ「LSM-5100-MH」も取り扱っています。 【特長】 ＜倒立型レーザ走査干渉計「LSMi-7000」＞ ■走査範囲は30mm×50mm、モニター上で拡大観察可能 ■セラミックスなどの細い傷、研磨不良、欠けなどが検査可能 ＜円筒用レーザ走査干渉計「LSMi-7500」＞ ■円筒の全面で干渉縞を観察可能、円筒の精密検査が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
