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NIST/ISO準拠、最大６軸同時に簡単精密測定できるレーザー干渉計（変位計）
このレーザー干渉計システムでは、光学モジュールの組み合わせにより、単軸から最大６DOF（X、Y、Z、ピッチ、ヨー、ロール）を同時に高精度測定することができます。システムの設置やアライメントはとても簡単です。 また、オプションの環境センサーや屈折率計などで測定用レーザーの波長を補正し、精度をさらに向上させることが可能です。ウエハ・FPDステッパーなどの半導体製造装置、CNCマシンなど工作機械分野や、モーションシステムの変位測定や各国の標準研究機関など、5000件を超える納入実績があり、世界でディファクトスタンダートになっています。
大口径や長焦点光学系の計測に必須の除震台が、不要化もしくは小型化ができるリアルタイムダイナミック干渉計です。
超高速の干渉計測を行うため、震動/振動や空気ゆらぎ(Air turbulence)の影響を最小化、リアルタイムでの波面計測が可能。Twymann=Green干渉法を用いた計測なので、大口径光学系でも同程度の大きさのFizeau面は不要。Diverging lens(発散レンズ)を用いて、様々な拡張測定が可能。
震動環境・長光路での測定に好適
【PhaseCam6000】は、揺れの強い場所や移動物体など、震動環境・長光路での測定に効果を発揮する超小型高速撮像干渉計。 ◎超小型なので、研磨加工機への導入も可能。 ◎ファイバーによって光源部分を分離、従来の重い筺体では困難だったアライ メントを容易に。 ◎オプションでケーブル類、ファイバー延長可能。 ◎様々なDiverging、LensやNull opticsを付けることで、様々な平面・球 面・非球面の測定が可能。 ◎標準的な追加オプションとして、５軸調整マウントや、X5ビームエキス パンダーも用意しています。 詳細な資料や製品に関するご相談、お見積り依頼等は、 下記フォーム、又は弊社ホームページよりお気軽にお問い合せください。
今までの常識を覆す 小型で振動に強いFizeau型干渉計の新定番レンタル開始
一般的なピエゾ駆動に依る位相シフト干渉計を行うTemporalモードと、4D社の長年の実績を生かした振動不感のDynamicモードの両方が選択可能。
小型・軽量なのに、振動に強いFizeau干渉計！
待望の低価格・高性能Fizeauタイプの干渉計です。 時間位相シフト計測と、Tilted Beam瞬時FFT解析測定の2モードを搭載、高いコストパフォーマンスを実現しました。 小型で可搬性に優れ、市販のFizeau参照面の搭載も可能です。 実機によるデモや、レンタルサービスも開始しました。お気軽にお問合せください。
サブマイクロメートル精度で安定した厚み測定を行うための白色光干渉計です
距離変動や振動している計測対象のナノメートル精度の厚み測定 反射防止コーティングされたガラスも安定して計測可能 Webインターフェイスを介した容易な設定
待望の『ZYGO Mini（干渉計）平面測定装置』、導入時期が決定しました！
今月末 １０月３１日（木）、ついに！ 『 ZYGO Mini（干渉計）平面測定装置 』の導入が決定致しました！！ （※装置に関する詳細は、導入後に掲載予定。） 上記装置の導入により、製品の面精度保証 が可能に！ 面精度保証をご要望の製品・試作品等がございましたら、 是非とも弊社にご連絡下さい！
高い垂直方向分解能で小さな凹凸を可視化可能
走査型白色干渉計（光干渉計）は、試料の表面形状を「高い垂直(Z)分解能(0.1nm)と広い(X-Y)測定視野(50μm～4.2mm)」で、高精度に非接触3次元測定を行うことが可能です。Si/SiGe積層試料表面（クロスハッチパターン）の形状観察の事例を紹介します。 平均粗さ(Ra)～1nmの形状評価可能です。
口径Φ100mm～Φ700mmのものをはじめ、4種類を保有しています！
株式会社オカモトオプティクスで保有している「干渉計計測器」について ご紹介いたします。 口径Φ100mm～Φ700mmの干渉計計測器をはじめ、“QED SSI"や “Zygo DynaFiz、Zygo GPI, 12インチ、4インチ"の他、 “Zygo New View 6300"を保有。 当社は大型のレンズや平面も高精度の加工が出来ることが特長であり、 ガラスだけではなくセラミックスも対応可能です。ご要望の際は お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■ノウハウに応じた先端測定機と加工機を自社装備 ■信頼性の高い製品を提供可能 ■大型のレンズや平面も高精度の加工が出来る ■ガラスだけではなくセラミックスも対応可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
多くのお客様の測定ニーズに対応したシステムを取り揃えております！
東明技研は、独自のブランド Akion(アキオン)で、レーザー干渉計システムを 開発・製造・販売を行っております。 4インチレーザー干渉計「AK-100ZF」をはじめ、6インチレーザー干渉計 「AK-150ZF」や1.5インチレーザー干渉計「AK-40ZF」などをラインアップ。 小口径から大口径のレンズ、平面ガラス、ウェハ、ミラーなどの研磨面を λ/20の高精度で測定評価が可能となります。 【AK-100ZF 特長】 ■超小型4インチフィゾー型レーザー干渉計システム ■横型システムも製作可能 ■広範囲の口径/曲率のレンズ、平面ガラスの面精度評価が可能 ■本体寸法：338×190×254mm ■本体質量：14kg ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
簡単操作で、波長範囲の選択もできるTHzスキャニングファブリーペロー干渉計
『THz-SFPI』は、THz用高フィネスリフレクターペアを使った スキャニングファブリーペロー干渉計です。 搭載されるリフレクターは周波数域と、必要なフィネスを 指定いただき製作いたします。 また、簡単計測可能なソフトウェアが付属します。 【特長】 ■最高120MHzの分解能で計測が可能 ■反射鏡の付け替えで波長範囲を選択可能 ■簡単なステージ制御ソフトが付属 ■測定を容易にするアプリもご用意 ■標準仕様以外のカスタムにも対応 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
ガラス、プラスチック、金属などの平面/球面形状測定に最適
小口径から大口径の研磨面をλ/20の高精度で測定評価が可能です。
ガラス、プラスチック、金属などの平面形状測定に最適
小口径から大口径の研磨面をλ/20の高精度で測定評価が可能です。
生産現場での小径レンズ検査に適しています！
1インチ干渉計『KNC-1』は、小型光学部品の面検査を製造現場で 誰でも簡単に行えるコンパクトなニュートンチェッカーです。 コストパフォーマンスに優れ、どこにでも運べる 現場に好適な測定ツールです。 オプションにて干渉縞解析装置を接続可能です。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■口径φ1インチの上向き小型干渉縞検査装置 ■波長は一般的なHe-Neレーザーとほぼ同じ ■小型カメラレンズの生産現場に設置して、簡便に面検査をする ■面検査は1度セッティングをすれば、あとはレンズを置くだけ ■難しい操作は不要 など ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
振動に強いため除振定盤が不要！位相データへ変換して波面マップへ導きます
当製品は、平面度測定をキャリアフリンジ法の特長を生かして測定する 縦型干渉計です。 8インチ(Φ200mm)サイズのサンプルの平面度測定が可能で、縦型に設置する ことにより作業効率が向上。 測定中の振動の影響を受けにくく、連続測定が可能になり、サンプルの 測定結果をリアルタイムで見ることができます。 【特長】 ■干渉計本体を縦型に設置 ■振動に強いため除振定盤が不要 ■リアルタイム測定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
過渡吸収分光測定を先進の2次元分光装置に変換します
〇コンパクトで軽量(180mm x 180mmフットプリント、0.4kg) 〇UVから近赤外までの選択波長範囲においてOPAやNOPAをサポート 〇吸収スペクトルのためのポンプ・プローブ分光法 〇グレーティングも入力/出力スリットも無い、1cmのクリアーアパーチャーにより高スループット実現 〇お客様がお持ちの既存の光学系に容易に結合が可能 〇頑丈で堅牢なデザイン 〇ドライバーを含めた完全な一体型 〇世界中で迅速なサポート NIREOS社のGEMINI-2Dは、過渡吸収分光測定を最先端の2次元分光装置に変換しする、コンパクト・軽量で安定性に優れた干渉計です。フェムト秒レーザーパルスの入力光を2つのレプリカ間の時間遅延を制御することにより、比類なき安定性と堅牢性を備えています。 ※詳しくはPDFカタログをダウンロードいただくか、お問い合わせください。
266nm 355nm 532nm 1064nm UV領域の用途。ウェハ検査、分光器の校正、干渉計に使用いただけます。
【EXCITEシリーズ 単一周波数固体レーザー 特長】 ● 1～30kHzの繰り返し周波数 ● M2 < 1.6の回折限界ビーム短時間パルスを発振 ●平均出力は266nmで150mW以上、355nmで500mW｡ ●超安定したパルストレースと3m以上の長いコヒーレンス長 ●堅牢な産業用途向けデザイン
精密な計測と検査が可能！ファイバー素線端面向け干渉計／マイクロスコープ
『ProView』は、クラッドの直径が125～720pmのファイバー端面の 精密な計測と検査を可能とする高度な干渉計です。 本製品は、 簡単・迅速・非常に正確な端面検査が必要とされる 生産ライン向けに設計されています。 R&D環境およびファイバークリーブ工程内の用途にも適しています。 融着スプライサ・クリーバ・および他の準備ツールと 並んで使用できるコンパクトな設計。 USB3.0ケーブルから電源供給され、お客様がお持ちのPCで駆動可能です。 【特長】 ■見やすい二次元および三次元位置関係表示(topography) ■PCコントローラGUIからのFringe & Inspectionモード ■自動角度推定による非常に速い検査時間 ■PASS/FAILクリーブ角度表示のオプション ■平面度、垂直度、異物(Hackles)、コンタミ等の端面状態の検査 ■2D画像、3D画像やクリーブデータの取得と保存 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
光沢紙程度の反射で干渉縞が出現！干渉縞で50mmの変化をとらえる干渉計
当製品は、レーザ走査を用いた干渉計です。 光沢紙程度の反射で干渉縞が出現。干渉縞で50mmの変化をとらえます。 サンプルをガラス面に置けば、簡単に干渉縞が見える倒立型の「LSMi-7000」 をはじめ、円筒用の「LSMi-7500」や正立型の「LSMi-8000」をラインアップ。 この他にも、5×50mmの範囲を3D形状計測できる超広視野共焦点型レーザ 走査イメージャ「LSM-5100-MH」も取り扱っています。 【特長】 ＜倒立型レーザ走査干渉計「LSMi-7000」＞ ■走査範囲は30mm×50mm、モニター上で拡大観察可能 ■セラミックスなどの細い傷、研磨不良、欠けなどが検査可能 ＜円筒用レーザ走査干渉計「LSMi-7500」＞ ■円筒の全面で干渉縞を観察可能、円筒の精密検査が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
除震台の不要化・最小化が出来、さらに短コヒーレントレーザーを用いることで、複数の干渉面があっても計測したい面を選択できます。
短コヒーレントレーザー(干渉できる範囲が狭い)を用い、内部で2系統に分けた片方の光学系に空間的遅延を作ることで、複数の面が重なりあった複雑な光学系でも、任意の2面を選択して干渉測定が出来ます。測定が難しかった大口径の凸面を、反射型(ヒンドル鏡など)の一部計測できない部分が出来てしまう方式ではなく、透過型で全面を一度で測定可能。望遠鏡のセカンダリミラーや大型ステッパーレンズ、波面保存光学系の最終性能確認などに最適です。 また、今まで不可能であった、HDDの書き込みプロセスを動作状態で、かつ重なっている状態でのそれぞれの振る舞いを測定出来るようになりました。 詳細な資料や製品に関するご相談、お見積り依頼等は、 下記フォーム、又は弊社ホームページよりお気軽にお問い合せください。
【無料デモ・格安レンタル】古い干渉計使っている方必見！参照面の搭載可能な干渉計
＝＝＝ 現在使用されている干渉計で困っていませんか？ ＝＝＝ ◆ まだ昔の干渉計を使っている ◆ 厳しい環境下で使っていて除振台がどうしても必要… 弊社の取り扱っている干渉計は標準的な参照表面・参照球面がそのまま使え低価格・高性能Fizeauタイプの干渉計です。 【特長】 ・従来のピエゾ微動方式でのスキャンではなく、Spatial Career (Fringe)方式で瞬間測定 ・瞬間測定が可能になったことで、震動があっても一度でもデータが取得できれば解析可能 ・ピエゾ微動方式も可能なので、今までと変わらない計測も引き継ぎ可能 また、他社光学ソフトのデータと互換性も抜群なのでお手軽に使えます！ ＝＝＝ デモ機・レンタルも行っておりますので お気軽にお問い合わせください ＝＝＝ ◆アプリケーション ・凡用光学系の測定に ・既存の、古くなった干渉計や測定システムの置き換えに ・製造現場への導入、計測準備などの時間短縮に ・自社光学製品の、展示会・顧客先での性能アピールなどに その他、さまざまな光学系の評価に…
平面形状測定用 反射・透過波面測定！サブナノメートルレベルの位相測定を行える
『OptoFlat』は、低コヒーレンス干渉原理を使用し、平面形状を簡単に 測定することが可能なInterOptics社製の干渉計です。 小型かつ安定した機械設計でありながら、従来の干渉計と比較して低価格。 高出力LED光源で使用することにより、レーザースペックル干渉や 光学系内部干渉が発生せずクリアな干渉縞が生成される、 サブナノメートルレベルの位相測定を行うことができます。 【特長】 ■低コヒーレンス干渉原理を使用 ■平面形状を簡単に測定することが可能 ■小型かつ安定した機械設計 ■従来の干渉計と比較して低価格 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
真空環境下及びクリーンルーム内で計測の出来る白色光干渉計です
ナノメートル精度の絶対距離測定 30ピコメートルの高分解能 真空環境に適したセンサ及びケーブル
Maxφ130mmまで対応可能なレーザー光斜入射干渉計 位相シフト法による画像解析
レーザー光斜入射干渉計による干渉縞を位相シフト法により画像解析することで、種々のサンプルをデジタル計測するものです。 半導体ウェーハ（GaN、SiC、サファイア）などの研究開発、量産ラインで品質向上のために活躍します。
Maxφ200mmまで対応可能なレーザー光斜入射干渉計 位相シフト法による画像解析
レーザー光斜入射干渉計による干渉縞を位相シフト法により画像解析することで、種々のサンプルをデジタル計測するものです。 半導体ウェーハ（GaN、SiC、サファイア）などの研究開発、量産ラインで品質向上のために活躍します。
広域の表面形状観察が可能
走査型白色干渉計（光干渉計）は、試料の表面形状を「高い垂直(Z)分解能(0.1nm)と広い(X-Y)測定視野(50μm～4.2mm)」で高精度に、非接触3次元測定を行うことが可能です。4.2mm×4.2mmの視野まで測定可能です。
半導体レーザの縦モード分析に最適 各種ミラーセットとディテクターの選択可能波長： 330 .. 3000 nm
・半導体レーザの縦モード分析に最適 ・各種ミラーセットとディテクターの選択可能波長： 330 .. 3000 nm ・FSR:1 GHz ・フィネス > 200 (典型値 > 400)
