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大口径や長焦点光学系の計測に必須の除震台が、不要化もしくは小型化ができるリアルタイムダイナミック干渉計です。
超高速の干渉計測を行うため、震動/振動や空気ゆらぎ(Air turbulence)の影響を最小化、リアルタイムでの波面計測が可能。Twymann=Green干渉法を用いた計測なので、大口径光学系でも同程度の大きさのFizeau面は不要。Diverging lens(発散レンズ)を用いて、様々な拡張測定が可能。
多くのお客様の測定ニーズに対応したシステムを取り揃えております！
東明技研は、独自のブランド Akion(アキオン)で、レーザー干渉計システムを 開発・製造・販売を行っております。 4インチレーザー干渉計「AK-100ZF」をはじめ、6インチレーザー干渉計 「AK-150ZF」や1.5インチレーザー干渉計「AK-40ZF」などをラインアップ。 小口径から大口径のレンズ、平面ガラス、ウェハ、ミラーなどの研磨面を λ/20の高精度で測定評価が可能となります。 【AK-100ZF 特長】 ■超小型4インチフィゾー型レーザー干渉計システム ■横型システムも製作可能 ■広範囲の口径/曲率のレンズ、平面ガラスの面精度評価が可能 ■本体寸法：338×190×254mm ■本体質量：14kg ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
除震台の不要化・最小化が出来、さらに短コヒーレントレーザーを用いることで、複数の干渉面があっても計測したい面を選択できます。
短コヒーレントレーザー(干渉できる範囲が狭い)を用い、内部で2系統に分けた片方の光学系に空間的遅延を作ることで、複数の面が重なりあった複雑な光学系でも、任意の2面を選択して干渉測定が出来ます。測定が難しかった大口径の凸面を、反射型(ヒンドル鏡など)の一部計測できない部分が出来てしまう方式ではなく、透過型で全面を一度で測定可能。望遠鏡のセカンダリミラーや大型ステッパーレンズ、波面保存光学系の最終性能確認などに最適です。 また、今まで不可能であった、HDDの書き込みプロセスを動作状態で、かつ重なっている状態でのそれぞれの振る舞いを測定出来るようになりました。 詳細な資料や製品に関するご相談、お見積り依頼等は、 下記フォーム、又は弊社ホームページよりお気軽にお問い合せください。
NIST/ISO準拠、最大６軸同時に簡単精密測定できるレーザー干渉計（変位計）
このレーザー干渉計システムでは、光学モジュールの組み合わせにより、単軸から最大６DOF（X、Y、Z、ピッチ、ヨー、ロール）を同時に高精度測定することができます。システムの設置やアライメントはとても簡単です。 また、オプションの環境センサーや屈折率計などで測定用レーザーの波長を補正し、精度をさらに向上させることが可能です。ウエハ・FPDステッパーなどの半導体製造装置、CNCマシンなど工作機械分野や、モーションシステムの変位測定や各国の標準研究機関など、5000件を超える納入実績があり、世界でディファクトスタンダートになっています。
