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立体的に観察ができるため解析に有効なCT観察！チップ抵抗の観察事例をご紹介します
X線透視・CT検査装置によるチップ抵抗の観察事例をご紹介します。 チップ抵抗は、セラミックスの表面に薄膜状の金属膜(抵抗体)が形成された構造で、 X線像で見られるL字状の線は抵抗値を調整するために施されたトリミング痕です。 CT観察では、所望の断層図を見れて立体的に観察できるため、解析に有効。 X線観察やCT観察で不具合箇所が見つかれば、断面観察や元素分析を行い、 原因を調査します。 【チップ抵抗の観察事例】 ■CT観察 ・所望の断層図を見ることが可能 ・立体的に観察ができるため解析に有効 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
機械研磨、SEM、EDXによる加工、観察手法をご紹介いたします！
異常が見られたチップ抵抗の故障解析例をご紹介いたします。 研磨台の動作不良の原因調査を行ったところ、該当基板のチップ抵抗に 異常が確認されました。表面観察では、チップ抵抗に異常が確認され、 保護膜が溶融している様に見受けられます。EDXによる元素分析では異常部から AlやPb等が検出され、アンダーコート層等が露出している可能性が疑われます。 続いて機械研磨により断面試料を作製してSEM/EDXによる解析を行い、 保護膜や抵抗体が溶融している様子が観察されました。 アイテスでは蓄積されたノウハウにより観察目的や試料の組成、構造に応じた 加工、前処理、観察手法や組み合わせを検討、ご提案いたします。ご相談等、 お気軽にお問い合わせください。 【解析内容】 ■表面観察 ■断面観察 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
