高真空排気装置 TPSシリーズ/DPSシリーズ
ターボ分子ポンプと油拡散ポンプの2タイプのラインナップ
高真空での各種実験・開発・生産プロセスに対応。ターボ分子ポンプと油拡散ポンプの2タイプのラインナップを有しており、補助ポンプも油回転及びドライポンプの選択が可能です。お客様のニーズに合わせた選択を可能とした高真空排気システムです。
- 企業:佐藤真空株式会社
- 価格:応相談
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ターボ分子ポンプと油拡散ポンプの2タイプのラインナップ
高真空での各種実験・開発・生産プロセスに対応。ターボ分子ポンプと油拡散ポンプの2タイプのラインナップを有しており、補助ポンプも油回転及びドライポンプの選択が可能です。お客様のニーズに合わせた選択を可能とした高真空排気システムです。