『表面活性化接合タイプ常温接合装置 量産機』
ウェハーやバルクを熱を加えず接合！
当製品は、超高真空(10^-6Pa台)下で、Arビームにより接合面を活性化し、 常温・無加圧でウェハーやバルクを接合する量産機ベースの装置です。 非加熱で接合するため、生産工程の短縮・効率化に寄与します。 当社が長年培った超高真空技術を注ぎ込み、高い操作性と メンテナンス性を達成しております。 【特長】 ■非加熱のため熱膨張率の異なる材料も接合可能 ■一組あたりの接合時間は約5～10分程度 ■メンテナンス終了後約12時間で装置復帰 ■各種材料での多数の接合実績 ■生産現場での多数の納入実績 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ムサシノエンジニアリング
- 価格：応相談
