ウェハーやバルクを熱を加えず接合！
当製品は、超高真空(10^-6Pa台)下で、Arビームにより接合面を活性化し、 常温・無加圧でウェハーやバルクを接合する量産機ベースの装置です。 非加熱で接合するため、生産工程の短縮・効率化に寄与します。 当社が長年培った超高真空技術を注ぎ込み、高い操作性と メンテナンス性を達成しております。 【特長】 ■非加熱のため熱膨張率の異なる材料も接合可能 ■一組あたりの接合時間は約5～10分程度 ■メンテナンス終了後約12時間で装置復帰 ■各種材料での多数の接合実績 ■生産現場での多数の納入実績 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
【仕様】 ■表面活性化はFABガンを採用 ■スループット5～10分/1組 ■UHV仕様(到達真空度10^-6Pa台) ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
当社は、真空創作技術をベースに極限技術を利用して実用装置を開発する 技術集団です。 規格品の販売も行っておりますが、オーダーメイド品の開発に積極的に応じて おります。お仕着せの製品ではなく、お客様の御要望に合わせた提案を行い、 世界にひとつしかない装置を多く開発しており、従来不可能だったことを可能 にするお手伝いを致しますので、ご要望の際はお気軽にお問合せください。